高過(guò)載低量程測(cè)試傳感器的選擇與比較
發(fā)布時(shí)間:2013/8/30 18:00:26
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【高過(guò)載低量程測(cè)試傳感器的選擇與比較】
在動(dòng)態(tài)測(cè)試領(lǐng)域傳感器高過(guò)載低量程一直是未能徹底解決的問題。本文在簡(jiǎn)單論述MEMS傳感器原理的基礎(chǔ)上,比較了MEMS傳感器和傳統(tǒng)工藝的壓電傳感器的特點(diǎn),并進(jìn)行了兩類傳感器在高過(guò)載低量程測(cè)量中的應(yīng)用比較,得到了MEMS傳感器能夠較好完成高過(guò)載低量程測(cè)量要求的結(jié)論。
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