技術頻道

在現(xiàn)有的粉末燒結型SnO2基氣敏傳感器基礎上研制了薄膜型SnO2基氣體傳感器，以拋光的耐熱石英玻璃為基片，真空磁控濺射50~70nm厚度的SnO2薄膜，在SnO2薄膜上分別濺射不連續(xù)的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜，傳感器背面濺射30μm的Ni80Cr20電阻合金作為傳感器加熱電阻，用薄膜熱電偶測量傳感器工作溫度。測試了不同的復合膜對傳感器靈敏度和選擇性的影響，并對傳感器的吸附與解吸速度進行了測試，薄膜傳感器達到相同靈敏度所需的工作溫度比粉末燒結型傳感器下降100~150℃，吸附解吸速度比粉末燒結型快。