金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器的加熱電路
發(fā)布時(shí)間:2013/9/3 19:59:03
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【金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器的加熱電路】
半導(dǎo)體氣敏傳感器有多種分類(lèi)方法,主要一種是將其分為兩類(lèi)—電導(dǎo)控制型氣敏傳感器和電壓控制氣敏傳感器。其中電導(dǎo)控制型一般 以 金 屬 氧 化 物 半 導(dǎo) 體 材 料 如SnO2、ZnO、Fe2O3 系為基體,加入合適的催化金屬和添加劑,采用燒結(jié)、厚膜或薄膜工藝制成。
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