技術(shù)頻道

探討了一種多晶硅高溫壓力傳感器的設(shè)計(jì)方法，采用AlN作硅襯底和多晶硅力敏電阻條之間的電絕緣層，由于無(wú)p-n結(jié)，力敏電阻無(wú)反向漏電，使制作的壓力傳感器特性好。利用多晶硅材料在高溫條件下能夠表現(xiàn)出良好的壓阻特性，考慮其縱橫向壓阻效應(yīng)的不同，作了理論分析，在此基礎(chǔ)上制作力敏電阻條。利用有限元分析方法，借助MARC軟件，模擬了傳感器承壓彈性膜的應(yīng)力場(chǎng)分布，確定了多晶硅力敏電阻條的位置和排列方式。并且施加10kPa壓力時(shí)，模擬了不同膜厚t與對(duì)應(yīng)的最大應(yīng)力?11的曲線；模擬了11方向主應(yīng)力COMP11邊緣中點(diǎn)應(yīng)力為一特定值時(shí)所需壓力PN與膜厚t的關(guān)系曲線。