技術(shù)頻道

利用離子束濺射沉積的方式在Al2O3陶瓷基片表面制備了In2O3薄膜，并分別研究了熱處理溫度對薄膜相結(jié)構(gòu)、電阻-溫度特性及氣敏特性的影響。結(jié)果表明：薄膜相結(jié)構(gòu)受熱處理溫度影響顯著，熱處理溫度高于600℃時，薄膜相結(jié)構(gòu)由無定形狀態(tài)變?yōu)榱⒎较酄顟B(tài)；隨著熱處理溫度的升高，薄膜電阻率顯著增大；薄膜對CO氣體具有良好的氣敏特性，熱處理溫度為600℃時，薄膜對CO氣體靈敏度達到最大值。