先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車電子穩(wěn)定程序（ESP）微傳感器及系統(tǒng)”針對汽車電子應(yīng)用需求，對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計，開發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計芯片，攻克了數(shù)字化陀螺儀電路設(shè)計和加速度計ASIC電路設(shè)計技術(shù)和預(yù)成型空腔塑封封裝技術(shù)，研制出了自主知識產(chǎn)權(quán)的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計產(chǎn)品。
該課題突破了6英寸MEMS傳感器芯片工藝技術(shù)，采用了PCM監(jiān)控和SPC控制技術(shù)，實現(xiàn)了微傳感器關(guān)鍵工藝參數(shù)的在線監(jiān)測，建立了微傳感器圓片在片自動測試平臺，掌握了MEMS傳感器批量化制造技術(shù)，MEMS陀螺儀芯片加工成品率達(dá)到80%，MEMS加速度計芯片成品率達(dá)到90%。研制出基于MEMS陀螺儀和加速度傳感器的汽車ESP系統(tǒng)，完成了硬件和算法的初步研究，ESP系統(tǒng)的匹配試驗和搭載驗證，ESP系統(tǒng)的路試和抗干擾試驗。同時，驗證了MEMS傳感器的性能與可靠性滿足了ESP系統(tǒng)的要求。該課題已申請4項發(fā)明專利。
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