相干推出用于微電子制造最高功率紫外激光器

時間：2013-04-22

來源：網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載

導(dǎo)語：激光器本身配備全自動化諧波晶體轉(zhuǎn)換器來保持>20,000小時持續(xù)穩(wěn)定的輸出功率，延長使用壽命。

相干公司最新的AVIATM微加工激光器可以在其工作波長和頻率下輸出目前工業(yè)用激光器可得到的最高功率。AVIA355-33可輸出335nm（110kHz），33瓦的激光光束。高功率可以直接有效的提高生產(chǎn)效率，從而降低了成本。

AVIA系列激光器在微電子制造應(yīng)用中有最長時間的高可靠性，24/7連續(xù)工作的可查記錄，并有很多具體的設(shè)計來加強(qiáng)加工能力，減少客戶的長期成本費(fèi)用。ThermEQTM，PulseEQTM可以精細(xì)的操控輸出脈沖能量，從而OEM可以定義和最優(yōu)化激光加工過程。激光器本身配備全自動化諧波晶體轉(zhuǎn)換器來保持>20,000小時持續(xù)穩(wěn)定的輸出功率，延長使用壽命。此外，激光器獨(dú)特的PosilockTM光束位置傳感器和反饋保證了激光器在工作壽命內(nèi)光束位置的高穩(wěn)定性，從而確保了加工的一致性和穩(wěn)定性。

AVIA355-33可以廣泛應(yīng)用于高通量微電子加工制造行業(yè)。典型的應(yīng)用包括印制電路板和倒裝片的鉆孔，包含低k值電介質(zhì)材料硅晶片的切割和劃線。

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