超紫外線(xiàn)芯片將成為晶圓廠(chǎng)標(biāo)準(zhǔn)制程

時(shí)間:2008-02-29

來(lái)源:AMD (中國(guó)) 有限公司

導(dǎo)語(yǔ):AMD宣布與研發(fā)伙伴IBM共同合作,運(yùn)用超紫外線(xiàn)微影技術(shù),針對(duì)整個(gè)芯片中最關(guān)鍵的第一層金屬鏈接進(jìn)行測(cè)試

AMD宣布與研發(fā)伙伴IBM共同合作,運(yùn)用超紫外線(xiàn)微影技術(shù),針對(duì)整個(gè)芯片中最關(guān)鍵的第一層金屬鏈接進(jìn)行測(cè)試,并成功生產(chǎn)出作業(yè)測(cè)試芯片,透過(guò)全面性的超紫外線(xiàn)微影技術(shù),成功整合至大小為22mm*33mm的45納米節(jié)點(diǎn)測(cè)試芯片制程。 據(jù)BrunoLaFontaine博士表示,AMD的超紫外線(xiàn)微影技術(shù)在未來(lái)數(shù)年,在半導(dǎo)體制程上的應(yīng)用具十足的潛力,業(yè)界廠(chǎng)商因芯片體積縮小而受惠。雖然在業(yè)界可運(yùn)用超紫外線(xiàn)微影技術(shù)量產(chǎn)之前,仍有許多挑戰(zhàn)需要克服,但是AMD已經(jīng)證明該技術(shù)可以成功地與半導(dǎo)體晶圓制程結(jié)合,完整產(chǎn)出芯片上的第一層金屬互連層。 IBM結(jié)構(gòu)研究經(jīng)理DavidMedeiros表示,微影技術(shù)如同微處理器一樣重,如何將含有數(shù)百萬(wàn)個(gè)電晶體集成芯片的高度復(fù)雜設(shè)計(jì),移轉(zhuǎn)到晶圓片上的技術(shù),將是未來(lái)的重大挑戰(zhàn),而晶圓片上的多重層級(jí),是建立一個(gè)芯片的必要條件。 DavidMederios進(jìn)一步指出,隨著芯片工程師持續(xù)在芯片上加入嶄新功能,同時(shí)增強(qiáng)芯片的效能表現(xiàn),讓體積愈來(lái)愈小的電晶體可在特定的區(qū)域中放置更多的電晶體,要如何制造小型電晶體與連接電晶體的金屬線(xiàn),與用來(lái)投射芯片設(shè)計(jì)在晶圓片上的光波長(zhǎng)度有直接關(guān)系,超紫外線(xiàn)光刻顯影技術(shù)采用13.5奈米的波長(zhǎng),大幅縮短現(xiàn)今的193納米微影技術(shù),持續(xù)推動(dòng)傳統(tǒng)芯片功能與體積間的可調(diào)整性。 現(xiàn)時(shí),位于德國(guó)德勒斯登的AMD36號(hào)廠(chǎng),首先采用193nm浸潤(rùn)式微影量產(chǎn)技術(shù),進(jìn)行芯片測(cè)試,再將測(cè)試芯片運(yùn)送至位于紐約州阿爾巴尼的IBM奈米科學(xué)與工程學(xué)院之研發(fā)中心,AMD、IBM與其他合作伙伴運(yùn)用由ASML、IBM、與CNSE合作建置的ASML超紫外線(xiàn)微影掃描器,于德國(guó)制造的電晶體間進(jìn)行第一層金屬相連物的圖樣模型。 在完成圖樣成型、蝕刻與金屬物沉淀等制程后,AMD對(duì)超紫外線(xiàn)微影設(shè)備架構(gòu)進(jìn)行電子測(cè)試,發(fā)現(xiàn)電晶體的特征與僅使用193nm浸潤(rùn)式微影量產(chǎn)技術(shù)進(jìn)行的芯片測(cè)試結(jié)果相符。這些晶圓片將再透過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓制程,增加額外的金屬互連層,進(jìn)而使大型的記憶數(shù)組亦可進(jìn)行測(cè)試排程。 驗(yàn)證超紫外線(xiàn)顯影技術(shù)量產(chǎn)可行性的下一步驟,是將此技術(shù)從金屬互聯(lián)物層的應(yīng)用,擴(kuò)展到所有層級(jí),以證明超紫外線(xiàn)微影技術(shù)可制造一個(gè)完整的作業(yè)微處理器,預(yù)期國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線(xiàn)圖將可望于2016年達(dá)到22nm半間距節(jié)點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn),因此超紫外線(xiàn)微影技術(shù)必須在2016年前達(dá)到可量產(chǎn)的標(biāo)準(zhǔn)。
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