現(xiàn)如今，眾多科技術(shù)型設(shè)備都在向集成化智能化發(fā)展，傳統(tǒng)只具備單一功能產(chǎn)品已不能滿足時(shí)代的發(fā)展需要，傳感器也一樣，智能化及多功能將是主要發(fā)展趨勢。
MEMS傳感器與傳感器相比具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。目前，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占相當(dāng)大的比例。
受益于我國汽車電子、新型數(shù)字消費(fèi)電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，國內(nèi)市場對(duì)傳感器的需求呈現(xiàn)出快速增長的態(tài)勢。據(jù)中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預(yù)測，未來五年國內(nèi)傳感器市場年復(fù)合增長率將超30%。汽車、物流、礦業(yè)探勘、煤礦安監(jiān)、安防、RFID標(biāo)簽卡領(lǐng)域的傳感器市場增長較快?？傮w來看，中國傳感器市場前景廣闊。
在此背景下，以MEMS為代表的智能傳感器技術(shù)得到了快速的發(fā)展。
MEMS技術(shù)在未來的發(fā)展主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：第一，微型化的同時(shí)降低功耗。將會(huì)出現(xiàn)微米甚至納米級(jí)別的微型器件，同時(shí)降低功耗；第二，微型化的同時(shí)提高精度，將MEMS加速度計(jì)做到石英加速度計(jì)的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時(shí)獲得光纖陀螺儀的零偏穩(wěn)定性，且可提供遠(yuǎn)優(yōu)于光纖陀螺儀的抗沖擊特性；第三，集成化及智能化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術(shù)及多參量MEMS傳感器的集成制造技術(shù)得到發(fā)展，以及在集成化基礎(chǔ)上使得信號(hào)檢測具有一定的自動(dòng)化。
2013年MEMS傳感器市場的需求依然十分旺盛，這既有傳統(tǒng)汽車和消費(fèi)類市場的需求，也有新興的工業(yè)、醫(yī)療、通信、測井、軍工類的需求。室內(nèi)導(dǎo)航應(yīng)用會(huì)是促進(jìn)新型MEMS氣壓計(jì)在2013起量的一個(gè)驅(qū)動(dòng)因素；而隨著人們對(duì)錄音、視頻通話等的質(zhì)量要求越來越高，高信噪比的MEMS麥克風(fēng)會(huì)用在越來越多的手機(jī)或平板電腦中。隨著高溫MEMS器件通過越來越多的客戶驗(yàn)證，在測井等極端工作領(lǐng)域，也會(huì)看到越來越多的MEMS產(chǎn)品。而物聯(lián)網(wǎng)和家庭醫(yī)療會(huì)是繼汽車和消費(fèi)類應(yīng)用領(lǐng)域后，又一個(gè)殺手級(jí)的應(yīng)用，其潛在的市場和增長趨勢會(huì)像今天的智能手機(jī)一樣。但由于目前該市場還缺乏統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)和客戶的認(rèn)知度，預(yù)計(jì)還需要2年左右的時(shí)間才會(huì)起量。
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