隨著傳感器及微加工技術(shù)的發(fā)展，人們可以在同一襯底材料上制作幾種敏感元器件，制成能夠檢測(cè)多個(gè)參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結(jié)構(gòu)形式：幾種不同的敏感元器件制作在同一個(gè)硅片上，制成集成化多功能傳感器，該種傳感器集成度高、體積小，各個(gè)敏感元器件的工作氛圍相同，容易實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償和校正，這是多功能傳感器發(fā)展的一個(gè)方向；幾種不問(wèn)的敏感元器件組合在一起形成一個(gè)傳感器，可以同時(shí)測(cè)量幾個(gè)參數(shù)，各敏感元器件是獨(dú)立的，如將測(cè)量溫度和測(cè)量濕度敏感元件組合在一起．構(gòu)成溫濕度多功能傳感器；用同一個(gè)敏感元器件的不同效應(yīng)，得到不同的信息，如將線(xiàn)圈作為敏感元件，在具有不同磁導(dǎo)率或介電常數(shù)物質(zhì)的作用下，表現(xiàn)出不同的電容和電感。
同一個(gè)敏感元件在不同激勵(lì)下表現(xiàn)出不同特性，例如傳感器施加不同的激勵(lì)電壓、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時(shí)可相竄于幾個(gè)不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測(cè)出的幾個(gè)信息混在一起，需要用信號(hào)處理的方法將各種信息進(jìn)行分離。
就近些年看來(lái)，多功能集成化傳感器研究受到國(guó)內(nèi)外的廣泛關(guān)注，國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)報(bào)道，已經(jīng)有用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、化學(xué)分析、生物保護(hù)等方面的集成傳感器。隨著MEMS技術(shù)和比技術(shù)的不斷發(fā)展，實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化成為可能。
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