可檢測(cè)ppm級(jí)別濃度氣體的高靈敏度氣體傳感器
比利時(shí)IMEC與荷蘭HolstCentre開發(fā)出了高靈敏度的氣體傳感器。該傳感器可以檢測(cè)出濃度在ppm級(jí)別的氣體。新產(chǎn)品的尺寸也小于原產(chǎn)品,可作為“ElectronicNose(電子鼻)”用于食品管理、醫(yī)療保健以及檢測(cè)氣體泄漏等用途。
該氣體傳感器如同在電路上集成了IC那樣,在9mm×9mm的芯片上集成了160個(gè)小型MEMS。每個(gè)MEMS都是“橋”狀振子的一種,嵌入在壓電材料中。
檢測(cè)氣體的原理如下。首先,事先在該傳感器芯片上涂布高分子材料,目的是吸附希望檢測(cè)到的特定氣體。吸附氣體后,MEMS的共振頻率會(huì)發(fā)生變化,因此壓電材料產(chǎn)生的電位頻率也會(huì)發(fā)生變化。由此可以檢測(cè)出氣體的吸附情況。
吸附劑可以通過噴墨的方式分別涂布在每個(gè)MEMS上。由此還可以檢測(cè)出混合氣體中的各種成分比。
傳感器的功耗方面,每個(gè)MEMS均不到1μW。
目前,IMEC等正在推進(jìn)將該傳感器芯片與信號(hào)讀取電路集成在一枚芯片上的開發(fā)工作。目前使用的吸附劑組合,可以辨識(shí)葡萄酒和奶酪的香味。據(jù)介紹,將來有可能用于識(shí)別人的哮喘、肺癌以及腎臟病等。
產(chǎn)品特性:
可以檢測(cè)出濃度在ppm級(jí)別的氣體
應(yīng)用范圍:
食品管理、醫(yī)療保健以及檢測(cè)氣體泄漏等
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