美國(guó)半導(dǎo)體制造技術(shù)戰(zhàn)略聯(lián)盟(SEMATECH)和ExogenesisCorp.已經(jīng)達(dá)成戰(zhàn)略聯(lián)盟，共同推廣Exogenesis的AcceleratedNeutralAtomBeam（加速中性原子束，簡(jiǎn)稱“ANAB”）和他們的nAcceltm加速粒子束設(shè)備平臺(tái)。SEMATECH首席執(zhí)行官兼總裁RonGoldblatt博士表示：“芯片行業(yè)正處于原子尺度處理時(shí)期。使用正在開(kāi)發(fā)的ANAB將支持更好的控制和更高的制造效率，同時(shí)為半導(dǎo)體裝置打開(kāi)新功能。”
SEMATECH和Exogenesis將建立一個(gè)新公司，為半導(dǎo)體行業(yè)將ANAB技術(shù)推向市場(chǎng)。除了最初的關(guān)注集成電路制造之外，雙方還將在其它納米電子領(lǐng)域開(kāi)發(fā)ANAB應(yīng)用，這可能會(huì)形成更多公司。
ANAB技術(shù)是在深度為幾納米的情況下修改和控制具有原子級(jí)控制曲面的獨(dú)特方法，已獲得專利。Exogenesis總裁兼首席執(zhí)行官表示：“其它技術(shù)無(wú)法達(dá)到ANAB的性能效果。”化學(xué)修飾、材料去除與沉積、曲面光順以及表面形態(tài)控制都有可能通過(guò)ANAB平臺(tái)實(shí)現(xiàn)。
ANAB已經(jīng)被用于對(duì)藥理及生物相容性進(jìn)行精確控制的生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，以及支持更安全、有效的可植入醫(yī)療設(shè)備的開(kāi)發(fā)。事實(shí)證明，ANAB能夠?yàn)榘úＡА⒔饘?、有機(jī)、半導(dǎo)體和聚合材料等各種材料界面帶來(lái)好處。
SEMATECH企業(yè)發(fā)展總監(jiān)EdBarth博士表示：“"SEMATECH和Exogenesis自2013年以來(lái)已經(jīng)作為SEMATECH項(xiàng)目的一部分開(kāi)始合作，支持半導(dǎo)體行業(yè)采用ExtremeUltravioletLithography(極紫外光刻技術(shù)，簡(jiǎn)稱EUVL)。”“雙方已經(jīng)展示和公布了ANAB技術(shù)在提高薄硅膜透明度方面的價(jià)值，可以顯著提升EUV膜的性能。”Exogenesis與SEMATECH的其它工作表明ANAB處理支持EUV掩?；宓墓忭?biāo)劫|(zhì)量比傳統(tǒng)方法更卓越，提高了通過(guò)他們創(chuàng)造的掩模坯的光學(xué)性能。這些結(jié)果發(fā)布于2014年。
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