不論是在家中、車上或工作場所，微機電（MEMS）應用已悄悄深入消費者生活。盡管不常受到注意，MEMS技術在過去20年間經(jīng)歷了劇烈的改變。隨著物聯(lián)網(wǎng)（IoT）不斷發(fā)展，MEMS還將持續(xù)改進，達到更小、更省電的需求。

談MEMS的發(fā)展現(xiàn)況。德國Fraunhofer電子納米系統(tǒng)研究所（FraunhoferENAS）主任MartinaVogel指出，MEMS已從單一系統(tǒng)演變成今日復雜的智能整合系統(tǒng)。

智能系統(tǒng)的發(fā)展可分為三個階段。第一個階段建立在單一基板或印刷電路板上，常應用在助聽器、心律調整器等醫(yī)療設備，以及汽車的安全氣囊上。第二個階段的代表便是到處可見的智能型手機。

第三個階段的智能系統(tǒng)則整合了傳感、驅動、資料處理、通訊等進階功能，各個系統(tǒng)間可相互合作，成為物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的基礎，所牽涉的不只是矽晶片技術，也包含聚合技術、印刷技術、納米科技等。

在物聯(lián)網(wǎng)的帶動下，MEMS未來最大的挑戰(zhàn)，將來自規(guī)格因素（formfactor）、共同整合（co-integration）、功率消耗以及成本問題。目前已出現(xiàn)許多解決方案，但MEMS化學傳感、3D堆疊等許多問題仍待解決。

物聯(lián)網(wǎng)中將有成千上萬個應用設備，若為每個應用都提出一款傳感技術，將不符合開發(fā)成本考量，因此標準化也相當重要。另外，MEMS也可大量應用在物聯(lián)網(wǎng)中的氣體與化學傳感。與其他傳感技術相比，MEMS能減少傳感器50%的尺寸大小與制造成本。

傳感融合（sensorfusion）是物聯(lián)網(wǎng)設備的另一個發(fā)展趨勢，已有不少廠商正嘗試研發(fā)與薄膜電池、微處理器（MCU）、ASIC、無線通訊功能整合的多重傳感設備。而低功率無線電以及能源收集都是技術上的挑戰(zhàn)。除整合上的困難外，巨量資料處理以及資料安全也都是必須解決的問題。

智能家庭、智能電網(wǎng)的傳感技術雖已成形，但目前仍欠缺相對應的基礎設施?；A設施將負責傳感資料的上層整合、收集、詮釋。在較高的抽象層面，這些功能都需要一套標準規(guī)范資料的處理。

穿戴式設備與醫(yī)療設備推動了系統(tǒng)級封裝（SiP）技術發(fā)展，智能家庭或智能城市雖也應用了大量的MEMS與傳感技術，但挑戰(zhàn)卻不盡相同，像是智能家庭或智能城市在規(guī)格因素方面便沒有那么大的壓力。

智能汽車則又是完全不同的領域，智能汽車應用可分為非安全應用與安全應用。非安全應用基本上與消費者市場的MEMS相似，而在安全應用方面，已有像是整合了加速計、ASIC、壓力傳感功能等智能SiP技術出現(xiàn)。

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