據(jù)報道，新加坡科技研究局（AgencyforScience,TechnologyandResearch，以下簡稱A*STAR）微電子研究院（InstituteofMicroelectronics，以下簡稱IME）發(fā)起成立了MEMS第三聯(lián)盟（MEMSConsortiumIII）來開發(fā)前沿MEMS技術(shù)。此舉將促進(jìn)MEMS傳感器獲得更好的性能、更高的能效和更小的外形。

MEMS第三聯(lián)盟成員包括行業(yè)領(lǐng)先的應(yīng)用材料（AppliedMaterials）、Coventor、臺達(dá)電子（DeltaElectronics）、格羅方德半導(dǎo)體（GLOBALFOUNDRIES）、應(yīng)美盛（InvenSense）、SPTSTechnologies、StandingEgg、日本真空技術(shù)株式會社（ULVAC）、維易科（Veeco）及另一家電子公司。憑借IME在MEMS傳感器領(lǐng)域的經(jīng)驗和工藝平臺，聯(lián)盟將共同開發(fā)可用于多種產(chǎn)品和應(yīng)用的工業(yè)級慣性傳感器和壓力傳感器，如電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)、資產(chǎn)跟蹤、無人機(jī)、汽車和可穿戴設(shè)備。為實現(xiàn)這一目標(biāo)，聯(lián)盟成員將專注于縮小現(xiàn)有工業(yè)級慣性傳感器和MEMS傳感器之間在性能、成本、尺寸方面的差距。

印刷電路板上的能量采集器

聯(lián)盟也將開發(fā)氮化鋁（AlN）調(diào)頻MEMS慣性測量單元，包含一個3軸加速度計、一個3軸陀螺儀和一個壓力傳感器，以及氮化鋁慣性工藝流程平臺和工藝設(shè)計套件。與現(xiàn)有MEMS傳感器相比，氮化鋁MEMS慣性傳感器擁有諸多優(yōu)勢，如抗噪、高精度、更好的線性度以及更簡單的讀出電路設(shè)計。憑借更低的成本和更小的封裝尺寸，氮化鋁MEMS慣性傳感器將更符合工業(yè)級性能需求。

消費類、汽車和工業(yè)領(lǐng)域?qū)鞲衅髌骷男枨蟛粩嘣鲩L，傳感器行業(yè)將面臨更復(fù)雜的挑戰(zhàn)，需要開發(fā)具有更多先進(jìn)功能、更小封裝尺寸、更高性能以及更低成本的器件。MEMS和傳感器技術(shù)的研發(fā)對解決上述挑戰(zhàn)而言至關(guān)重要，也能為各類應(yīng)用對MEMS器件的大規(guī)模采用鋪平道路。預(yù)計到2018年，全球MEMS市場規(guī)模將超過220億美元。

358MHz氮化鋁MEMS振蕩器

IME及其工業(yè)合作伙伴在MEMS第二聯(lián)盟（MEMSConsortiumII）成功開發(fā)了具有先進(jìn)功能并可以量產(chǎn)的MEMS器件，例如一款能量采集器、一款振蕩器和一款磁力計。

IME的執(zhí)行董事Dim-LeeKwong教授表示：“IME在MEMS技術(shù)領(lǐng)域所取得的成績與產(chǎn)業(yè)合作密不可分，充分體現(xiàn)了開放式創(chuàng)新對科技進(jìn)步的驅(qū)動作用。我們將研發(fā)與產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗相結(jié)合，開發(fā)出成本經(jīng)濟(jì)的創(chuàng)新型技術(shù)解決方案，并將驅(qū)動新一代電子器件實現(xiàn)大批量生產(chǎn)和商業(yè)化。”

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