近日，記者從成都高新區(qū)獲悉，由成都太科光電技術有限責任公司承擔的國家重點研發(fā)計劃重大科學儀器設備開發(fā)項目《超光滑表面無損檢測儀》正式啟動。

記者了解到，作為四川目前唯一一項國家“十三五”重點研發(fā)計劃重大科學儀器設備的開發(fā)項目，該項目將通過專項帶動，集成國內優(yōu)勢力量重點創(chuàng)新，實現(xiàn)高端超光滑表面無損檢測儀器國產化，替代國外同類產品，打破國外公司的技術壟斷和價格壁壘。

記者了解到，該項目由成都太科光電技術有限責任公司牽頭，協(xié)同國內多家技術實力雄厚的大學、研究所和企業(yè)形成產、學、研、用相結合的項目團隊共同實施。該項目擬研制用于非透明物體超光滑表面及具有多層超光滑平行反射面透明物體的納米級表面形貌高精密測量的Φ150mm超光滑表面無損檢測儀。該儀器主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛的應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質量等關鍵參數的快速檢測，還可應用于大型現(xiàn)代光學工程系統(tǒng)，如大型高功率固體激光系統(tǒng)、極紫外光刻、航空航天空間光學等領域中大口徑元件面形、材料特性等參數測量。項目預期取得或申請發(fā)明專利、軟件著作權、相關標準等25項相關知識產權，研究成果預計發(fā)表相關論文20余篇。

“以受檢測器件芯片為例，芯片是由多層構成且呈透明或半透明狀態(tài)，受自干涉條紋等條件影響，傳統(tǒng)接觸式測量中其他表面會影響到待測表面的實際檢測，且任何接觸都會對芯片本身造成一定傷害。而超光滑表面無損檢測儀采用非接觸式測量，且采用多表面分離算法，該算法可以分離出待測表面的信息，避免受其它表面的影響?！背啥继乒怆娍偨浝碲w智亮介紹說，該項目的實施，可以提高國內面形檢測的能力，實現(xiàn)多表面元件或平行平板的檢測，使其主要技術指標達到或超過國外同類產品水平。項目完成后，將研制數臺超光滑表面無損檢測儀，形成具有自主知識產權的系列化產品和關鍵技術與產業(yè)化路線，為未來產業(yè)化發(fā)展提供工藝路線。預計項目驗收后三年內，完善儀器產品化所有流程，基本形成產品化的標準工藝流程，企業(yè)產值達到上億元。

同時，記者了解到，該項目儀器的研制將帶動國內相關產業(yè)發(fā)展，超光滑表面無損檢測儀將在半導體照明、太陽能新能源，高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路以及國家重大光學工程等相關行業(yè)和領域得到廣泛的應用。改變現(xiàn)在采用的接觸式測量方式，大大提高檢測精度和測試效率，對于這些應用行業(yè)和領域具有巨大的帶動和促進作用。

記者了解到，該項目已經分別獲得國家科技部2000萬元、成都高新區(qū)200萬元資金支持?！俺啥几咝聟^(qū)鼓勵企業(yè)開展自主創(chuàng)新，積極承擔國家科技計劃項目，提升研發(fā)水平和創(chuàng)新能力。”成都高新區(qū)科技局相關負責人說，獲得國家重大科技創(chuàng)新項目立項支持且項目國撥資金到位的成都高新區(qū)企業(yè)，可按照國撥資金實際到位額的10%進行配套資助申請，同一項目申請金額最高不超過200萬元，同一家企業(yè)同一年度申請該類資金額度最高不超過200萬元。“未來五年，成都高新區(qū)將每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持知名大學科研成果在區(qū)內轉化；每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持國內外頂尖企業(yè)研發(fā)中心在區(qū)內落戶；每年安排不低于10億元資金、連續(xù)5年，支持引進高端人才到成都高新區(qū)發(fā)展?！?/P>

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