MEMS傳感器領(lǐng)域的探路人—趙玉龍

時(shí)間:2017-04-07

來源:網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載

導(dǎo)語:“其實(shí)我沒什么特別之處,只是專注做MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器,堅(jiān)持在這個(gè)領(lǐng)域里探索新知?!?/p>

人物簡介

趙玉龍,1968年出生,教育部長江學(xué)者特聘教授,享受國務(wù)院特殊津貼專家,西安交大教授、博士生導(dǎo)師,曾獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。

趙玉龍

(由西安交大宣傳部供圖)

“其實(shí)我沒什么特別之處,只是專注做MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器,堅(jiān)持在這個(gè)領(lǐng)域里探索新知?!弊鳛槲靼步淮蟆拔⒓{傳感與測(cè)試技術(shù)”長江學(xué)者創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人,趙玉龍以每年7到10項(xiàng)發(fā)明專利的驕人成績向前沖刺,他先后主持30多個(gè)國家重點(diǎn)科研項(xiàng)目,獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)和72項(xiàng)國家發(fā)明專利。談起自己的科研成果,他依然謙遜地說:“我還只是個(gè)探路人?!?/p>

實(shí)現(xiàn)傳感器研究“零的突破”

“傳感器就是機(jī)械的感知神經(jīng)。”趙玉龍拉開手邊的抽屜,里面滿滿當(dāng)當(dāng)都是傳感器芯片。他拿出一個(gè)芯片興致勃勃地介紹:“在這個(gè)指尖大小的芯片中有很大的乾坤,既有機(jī)械結(jié)構(gòu),又有測(cè)量電路和電子轉(zhuǎn)換器等等。這是一個(gè)系統(tǒng)工程,我所做的工作就是在這個(gè)小小的芯片中實(shí)現(xiàn)耐高溫、超高壓、高過載等功能。”

2000年,蔣莊德院士團(tuán)隊(duì)獲得國內(nèi)第一個(gè)MEMS研究科技部立項(xiàng),趙玉龍作為團(tuán)隊(duì)中的骨干在這個(gè)項(xiàng)目中獲得了寶貴的經(jīng)驗(yàn),并自此開始了在MEMS傳感器領(lǐng)域的求索之路。

MEMS和納米技術(shù),從上世紀(jì)90年代初就成為世界高新科技競(jìng)爭的制高點(diǎn);而彼時(shí),作為機(jī)械、電子等學(xué)科的交叉領(lǐng)域,MEMS技術(shù)在國內(nèi)還屬于新興領(lǐng)域,高端MEMS傳感器研發(fā)技術(shù)的滯后成為掣肘中國精密制造工業(yè)的瓶頸難題。趙玉龍?jiān)谑Y莊德院士帶領(lǐng)下,和團(tuán)隊(duì)成員一起完成的“耐高溫壓力傳感器”設(shè)計(jì)“制造關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品”開發(fā),實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)高端MEMS傳感器研究“零的突破”,解決了航空航天、軍工、石化、先進(jìn)制造等領(lǐng)域高溫惡劣環(huán)境下的壓力、加速度測(cè)量難題,打破了國外的技術(shù)封鎖和壟斷,引領(lǐng)帶動(dòng)了國內(nèi)高端MEMS傳感器技術(shù)的發(fā)展方向。

十幾年專注成績斐然

“要專注,太發(fā)散就會(huì)失去主心骨?!壁w玉龍說:“我所有的創(chuàng)新,都是立足傳感器的設(shè)計(jì)、制造和加工。術(shù)業(yè)有專攻,創(chuàng)新也要圍繞主業(yè),不能為了創(chuàng)新而創(chuàng)新。”趙玉龍?jiān)贛EMS傳感器及微納制造領(lǐng)域一扎就是十幾年。他創(chuàng)新性地開展了硅隔離SOI薄膜和多層應(yīng)力匹配薄膜理論和技術(shù)研究、MEMS高頻響、高精度、微型化、集成化等研究工作,研制出了系列耐高溫、高頻、超高壓、高過載MEMS傳感器、MEMS集成多傳感器及系統(tǒng),形成了特種MEMS傳感器及其集成傳感器等特色研究方向,取得了多項(xiàng)重要的創(chuàng)新成果,先后主持重點(diǎn)課題、項(xiàng)目等30余項(xiàng),獲得72項(xiàng)國家發(fā)明專利。

“耐高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)、制造關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品開發(fā)”以排名第二獲得2006年國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)和2005年度教育部技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng);“危化品安全儲(chǔ)運(yùn)狀態(tài)監(jiān)測(cè)MEMS傳感器及系統(tǒng)”以第一完成人獲2012年陜西省科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)。他的成果在航空、航天、兵器、石油化工、能源以及?;穬?chǔ)運(yùn)領(lǐng)域等200多家企業(yè)得到推廣應(yīng)用。

做“忠恕任事”的傳承者

作為博士生導(dǎo)師和“微納傳感與測(cè)試技術(shù)”創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人,趙玉龍還承擔(dān)著“師者”與“長者”的責(zé)任?!昂蜕迫逖拧笔菍W(xué)生和團(tuán)隊(duì)成員對(duì)他的評(píng)價(jià)?!熬雍投煌笔勤w玉龍倡導(dǎo)的團(tuán)隊(duì)文化?!八麖牟桓恪谎蕴谩?,我們有什么不同的意見都可以暢所欲言,不論是用激烈還是溫和的方式,趙老師都會(huì)很認(rèn)真地傾聽并及時(shí)反饋。”趙立波在團(tuán)隊(duì)中成長很快,近年來他陸續(xù)入選教育部“新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃”和“陜西省青年科技新星”。

“他雖然是工科教授,但有時(shí)候也像人文導(dǎo)師?!辈┦可畲搴挖w友這樣介紹自己的老師。

“其實(shí)我也是傳承者?!壁w玉龍認(rèn)真地說:“忠恕任事是我們的校訓(xùn),也是做人為師的魂。治學(xué)如做人,用專業(yè)知識(shí)授業(yè),以人文精神傳道,我的老師們就是這么做的,我也有責(zé)任把這種精神傳承下去?!?/p>

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