近日，南網(wǎng)科研院在特高壓工程技術(shù)(昆明)國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室成功測(cè)試了自主研發(fā)的芯片級(jí)直流電場(chǎng)MEMS傳感器。這是國(guó)際上首次將微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)應(yīng)用于直流輸電電場(chǎng)測(cè)量，可廣泛應(yīng)用于電力行業(yè)的設(shè)備精細(xì)化設(shè)計(jì)、在線監(jiān)測(cè)、電磁環(huán)境評(píng)估，以及氣象部門的雷電觀測(cè)預(yù)警、電動(dòng)汽車駕駛艙電場(chǎng)檢測(cè)、航空器等升空后大氣環(huán)境電場(chǎng)監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。
與傳統(tǒng)的場(chǎng)磨型傳感器相比，MEMS傳感器尺寸小，重量輕，僅為場(chǎng)磨型傳感器的1‰，功耗低，僅有3毫瓦，同時(shí)由于體積小可減少畸變，大大提高測(cè)試精度。該小微傳感器是南網(wǎng)科研院依托基礎(chǔ)性課題《基于MEMS和無線供能技術(shù)的集成直流合成電場(chǎng)傳感技術(shù)研究》于近期成功研制出的樣片。該樣片通過將靜電梳齒驅(qū)動(dòng)和單層側(cè)壁式感應(yīng)電極結(jié)構(gòu)刻蝕在300微米厚的二氧化硅晶圓上，形成5毫米x4毫米x0.3毫米的傳感器芯片，以此為核心與外圍電路共同封裝研制構(gòu)成傳感器樣機(jī)。
南網(wǎng)科研院首次探索研發(fā)的這個(gè)芯片級(jí)MEMS傳感器，也是國(guó)內(nèi)外首次將MEMS技術(shù)應(yīng)用于直流輸電電場(chǎng)測(cè)量，可廣泛應(yīng)用于電力行業(yè)的設(shè)備精細(xì)化設(shè)計(jì)、在線監(jiān)測(cè)、電磁環(huán)境評(píng)估，以及氣象部門的雷電觀測(cè)預(yù)警、電動(dòng)汽車駕駛艙電場(chǎng)檢測(cè)、航空器等升空后大氣環(huán)境電場(chǎng)監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域，解決了傳統(tǒng)測(cè)量裝置精度低、可靠性差、不適用于狹窄空間測(cè)量等問題，市場(chǎng)前景廣闊，應(yīng)用價(jià)值巨大。
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