上海微技術工業(yè)研究院"超越摩爾"研發(fā)中試線10日在上海嘉定啟動運營，這是中國國內首條、全球領先、兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線，旨在進一步推動中國"超越摩爾"技術和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應用快速發(fā)展。

以移動互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)、人工智能等為代表的信息技術正加速創(chuàng)新、融合和普及應用。其中，超越摩爾技術以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現(xiàn)萬物互聯(lián)的基礎性、決定性核心技術之一。

2017中國(上海)國際傳感器技術與應用展覽會(簡稱"SENSORCHINA")暨2017全球傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)峰會當天于此間舉行。

業(yè)界指出，中國"超越摩爾"領域，雖經(jīng)歷多年的理論研究與技術驗證，積累了大量寶貴的知識和經(jīng)驗，但在真正放進產(chǎn)品進行實際應用時往往存在與生產(chǎn)平臺脫節(jié)的情況。這都是源于MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術鏈條較長，且其"非標"特性使得它的研發(fā)與創(chuàng)新需要和產(chǎn)線有一段比較長的磨合期，不同于CMOS的標準工藝，可以說對產(chǎn)線"嚴重依賴"。而中試就是必經(jīng)階段，是目前國內傳感器廠家共同面臨的挑戰(zhàn)，據(jù)統(tǒng)計，科技成果經(jīng)過中試，產(chǎn)業(yè)化成功率可達80%，未經(jīng)中試成功率僅有30%。

基于此背景，上海微技術工業(yè)研究院實施超越摩爾計劃，爭取在這一領域與國際領先水平并行。上海微技術工業(yè)研究院與國際領先的晶圓廠密切合作構建的8英寸"超越摩爾"研發(fā)中試線，不僅實現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接，更豐富完整了國內的超越摩爾生態(tài)鏈，是對標國際產(chǎn)業(yè)競爭的關鍵一環(huán)。

據(jù)介紹，目前，在"超越摩爾"領域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務的SITRI的8英寸線是公認的領先技術。8英寸研發(fā)中試線將專注于"超越摩爾"傳感器產(chǎn)品技術的開發(fā)，可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)"超越摩爾"產(chǎn)品和技術特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內第一條先進8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實現(xiàn)"超越摩爾"產(chǎn)品和技術從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接。(完)

更多資訊請關注工業(yè)以太網(wǎng)頻道