在智能硬件、工業(yè)制造、健康醫(yī)療、車聯(lián)網(wǎng)等諸多領域，傳感器都有著廣闊的應用空間。但我國八成以上傳感器依賴進口。未來，這一現(xiàn)狀有望改變。9月10日，國內(nèi)首條全球領先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式運營。由上海微技術工業(yè)研究院構(gòu)建的這條中試線，旨在打通從研發(fā)到小批量生產(chǎn)的超越摩爾產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈布局，助攻創(chuàng)新研發(fā)。

中試線運營副總裁游家杰介紹，今天，第一個溫度傳感器產(chǎn)品將在這條中試線上流片，第一批產(chǎn)品預計10月下旬初步跑通。整條中試線按規(guī)劃未來產(chǎn)能可以達到每月3000片。

根據(jù)摩爾定律，當價格不變時，集成電路上可容納的元器件數(shù)目，約每隔18—24個月會增加一倍，性能也將提升一倍。超越摩爾，是指無需遵循摩爾定律，在工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產(chǎn)線上，研發(fā)非數(shù)字、多元化半導體技術與產(chǎn)品，力爭在傳感器等其他新興領域?qū)崿F(xiàn)“換道超車”，這是另辟蹊徑的一種反向突破。

“這是我們的‘鎮(zhèn)宅之寶’！”上海微技術工研院總裁楊瀟說，這條面向全國開放的8英寸研發(fā)中試線將成為一個創(chuàng)新設計的源頭，不僅可以進行工藝研發(fā)，還可以實現(xiàn)和小批量生產(chǎn)的無縫對接，從而打通創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈，使得國內(nèi)“超越摩爾”生態(tài)鏈得以完善。

中國科協(xié)副主席、中科院院士、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所所長王曦介紹，這條8英寸研發(fā)中試線將貫通“超越摩爾”研發(fā)到量產(chǎn)全程服務，專注于傳感器等產(chǎn)品技術開發(fā)，重點部署了微機電系統(tǒng)、硅光子、3D集成等相關工藝和測量設備。

游家杰說，國內(nèi)的高校、研究所和企業(yè)做了不少原創(chuàng)研發(fā)工作，但沒有條件做中試，也就不可能投入市場。8英寸中試線的建成，正是為了加快這些原創(chuàng)成果市場化的速度。現(xiàn)在已有10多家企業(yè)找上門來洽談了。

以8英寸線為支點，撬起一個功能型平臺的作用已初顯。到2020年，上海市將培育形成約30家研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺，與張江綜合性國家科學中心共同組成上?？苿?chuàng)中心建設的“四梁八柱”。上海微技術工業(yè)研究院正是第一個啟動的平臺，試圖打造集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位服務和解決方案。