隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的迅猛增長(zhǎng)，集成電路電子材料需求也快速得到釋放。電子材料產(chǎn)業(yè)處于集成電路制造環(huán)節(jié)的上游，對(duì)集成電路產(chǎn)品質(zhì)量、價(jià)格等起到?jīng)Q定性作用。然而，我國半導(dǎo)體電子材料只能滿足20％的內(nèi)需，且大多為中低端。

以“信息化帶動(dòng)工業(yè)化，電子技術(shù)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級(jí)”為主題的第15屆中國電子展即將在上海新國際博覽中心拉開帷幕。展會(huì)前夕，與非網(wǎng)記者對(duì)即將參展的睿寧高新技術(shù)材料（贛州）有限公司（以下簡(jiǎn)稱：睿寧）董事長(zhǎng)兼總裁袁永文博士進(jìn)行了采訪。

袁永文博士在回國創(chuàng)業(yè)前曾就職于美國阿貢國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、英特爾、東曹。袁永文博士通過一個(gè)簡(jiǎn)單的例子闡述了選擇江西贛州創(chuàng)業(yè)的初衷：

鎢作為集成電路重要電子材料，在集成電路存儲(chǔ)器中的應(yīng)用尤為廣泛。當(dāng)下，我國集中盡量發(fā)展存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)，對(duì)于鎢電子材料而言必將是一場(chǎng)紅利。鎢基電子材料是睿寧重點(diǎn)開發(fā)優(yōu)勢(shì)材料產(chǎn)品之一，一方面源于贛南有“世界鎢都”之稱，產(chǎn)業(yè)資源當(dāng)?shù)鼗梢越档瓦\(yùn)營成本；另一方面，睿寧通過自身技術(shù)優(yōu)勢(shì)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)高端化，帶來更高產(chǎn)業(yè)價(jià)值，為家鄉(xiāng)做出貢獻(xiàn)。

半導(dǎo)體濺射靶材，拉小與國際差距

全球范圍內(nèi)，濺射靶材電子材料產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)參與企業(yè)數(shù)量基本呈金字塔型分布，高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術(shù)門檻高、設(shè)備投資大，具有規(guī)?；a(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對(duì)較少。濺射靶材最高端的應(yīng)用是在超大規(guī)模集成電路芯片制造領(lǐng)域，這個(gè)領(lǐng)域主要是美國和日本的少數(shù)公司從事相關(guān)業(yè)務(wù)，長(zhǎng)期以來是一個(gè)被跨國公司壟斷的行業(yè)。

袁永文博士介紹，半導(dǎo)體濺射靶材國內(nèi)與國際差距主要表現(xiàn)為兩點(diǎn)：

差距一：濺射靶材上游材料（主要在超高純?cè)牧戏矫妫?/P>

差距二：服務(wù)于集成電路先進(jìn)制程的新產(chǎn)品

針對(duì)以上兩大差距，袁永文博士表示，睿寧都有自身優(yōu)勢(shì)：技術(shù)與工藝覆蓋從原材料提純、加工、生產(chǎn)制造到成品靶材的全過程，擁有垂直產(chǎn)業(yè)鏈；在集成電路先進(jìn)制程前道工藝所需要的新材料產(chǎn)品方面已經(jīng)取得一定成績(jī)。

據(jù)介紹，睿寧在濺射靶材技術(shù)方面已處于國內(nèi)領(lǐng)先水平，且集中精力突破此領(lǐng)域的瓶頸。袁永文博士也提出了睿寧的目標(biāo)，要在3－5年內(nèi)趕超國際先進(jìn)水平，成為領(lǐng)軍型濺射靶材供應(yīng)商。

創(chuàng)新至上，保持技術(shù)領(lǐng)先性

目前，睿寧已獲得20項(xiàng)集成電路芯片電子材料核心制造技術(shù)國內(nèi)外專利，其中14項(xiàng)是美國或國際授權(quán)專利。

袁永文博士表示：“睿寧每年的研發(fā)投入占總營收30％。與此同時(shí)，睿寧以項(xiàng)目的方式推進(jìn)研發(fā)進(jìn)程，比如投資10．8億元的‘年產(chǎn)10萬件22nm以下硅基及有色金屬基PVD芯片薄膜電子材料’項(xiàng)目。該項(xiàng)目致力于為22nm以下集成電路先進(jìn)制程服務(wù)，并做了前瞻性的布局，覆蓋到制程10nm以下電子材料產(chǎn)品的開發(fā)?！?/P>

盡管工藝制程更新中大部分材料會(huì)有一定的連續(xù)性，但不同制程對(duì)同一種材料會(huì)有不同要求，比如純度。同時(shí)，先進(jìn)制程前道工藝對(duì)新材料的需求表現(xiàn)的尤為突出。袁永文博士表示，在新電子材料方面的突破是睿寧的優(yōu)勢(shì)所在，比如新一代稀土基材料。

如今，以第三代半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)的新興技術(shù)正迅速崛起，搶占第三代半導(dǎo)體材料技術(shù)的高地也愈發(fā)激烈。當(dāng)談及第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，袁永文博士表示，睿寧在此方面的布局主要為大功率器件內(nèi)部組成材料，而且已經(jīng)有陶瓷基藍(lán)寶石（氧化鋁）基體生產(chǎn)線，只要有市場(chǎng)需求，就會(huì)迅速切入到第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域。

盡管隨著技術(shù)的發(fā)展，第三代半導(dǎo)體應(yīng)用會(huì)變得越來越廣泛，但硅作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，在未來十幾年內(nèi)仍將是最主流的材料與技術(shù)。袁永文博士介紹了睿寧在硅基及硅晶圓片方面的技術(shù)儲(chǔ)備。目前，硅晶圓主流尺寸為8英寸、12英寸，全球極少數(shù)企業(yè)可以做到18英寸，睿寧便是其中之一。與此同時(shí)，睿寧提供舊硅晶圓片再利用的服務(wù)，贛州工廠一部分8寸線服務(wù)于此業(yè)務(wù)。袁永文博士表示，提高再利用晶圓片質(zhì)量、擴(kuò)展其應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⑹前l(fā)展的重要方向。

睿寧在國內(nèi)與國外都設(shè)有研發(fā)基地，贛州研發(fā)基地主要服務(wù)于生產(chǎn)，而美國研發(fā)基地主要為了保持與國際領(lǐng)先技術(shù)接軌，比如在先進(jìn)制程方面。袁永文博士反復(fù)強(qiáng)調(diào)：睿寧的理念是創(chuàng)新至上，保持技術(shù)領(lǐng)先性至關(guān)重要。