我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展也面臨著重大機(jī)遇，特別是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。

從中國(guó)科技大學(xué)獲悉，中國(guó)科學(xué)院院士郭光燦領(lǐng)導(dǎo)的中科院量子信息重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在基于碳納米管的納米機(jī)電系統(tǒng)（NEMS）方面取得系列重要進(jìn)展。該實(shí)驗(yàn)室固態(tài)量子芯片組郭國(guó)平研究組與清華大學(xué)姜開利研究組等合作并成功實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)串聯(lián)碳納米管諧振器的強(qiáng)耦合、碳納米管諧振器中兩個(gè)模式的強(qiáng)耦合，并利用這種耦合實(shí)現(xiàn)了聲子的相干操控。相關(guān)成果分別發(fā)表在國(guó)際權(quán)威雜志《納米快報(bào)》和《納米尺度》上。

碳納米管由于其良好的電學(xué)性能、優(yōu)異的力學(xué)性能，近年來被廣泛應(yīng)用于納米機(jī)電系統(tǒng)的相關(guān)研究中，其在質(zhì)量、微力、氣體、位移等物理量的測(cè)量方面也具有廣闊的應(yīng)用前景。特別地，碳納米管諧振器的機(jī)械模式和單分子磁體、單電子電荷以及自旋等物理量具有較強(qiáng)的耦合，可以用來探索納米尺度下的物理現(xiàn)象，是一種品質(zhì)優(yōu)良的量子傳感器件。

在量子信息領(lǐng)域，納米諧振器中的聲子可以保持較長(zhǎng)的相干時(shí)間，可以保持相干進(jìn)行遠(yuǎn)距離的傳輸，是一種良好的飛行量子比特，被認(rèn)為是量子數(shù)據(jù)總線的候選者之一。圍繞探索聲子作為量子數(shù)據(jù)總線這一目標(biāo)，郭國(guó)平研究組開展了多機(jī)械振子長(zhǎng)程耦合方面的研究，并在碳納米管機(jī)械振子上首次實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)串聯(lián)機(jī)械振子的強(qiáng)耦合，同時(shí)也觀測(cè)到了兩個(gè)機(jī)械振子分別和量子點(diǎn)的強(qiáng)耦合。該新型耦合機(jī)械振子器件為研究電子-聲子相干相互作用、電子長(zhǎng)程耦合以及電子糾纏態(tài)提供了新的平臺(tái)。利用聲子作為飛行量子比特也為量子數(shù)據(jù)總線研究提供了新思路。

在實(shí)現(xiàn)了聲子的長(zhǎng)程耦合、長(zhǎng)程傳遞的基礎(chǔ)上，量子數(shù)據(jù)總線的研究還需要實(shí)現(xiàn)對(duì)聲子的相干操控。機(jī)械振動(dòng)高階模式的研究對(duì)超靈敏傳感器、聲子的相干操控具有重要意義。目前國(guó)際上的多機(jī)械模式耦合的相關(guān)研究主要集中在百千赫茲的低頻諧振器，而要實(shí)現(xiàn)更靈敏的傳感器，實(shí)現(xiàn)更快的聲子操控，需要進(jìn)一步提高諧振器的諧振頻率。

針對(duì)高頻聲子操控的難題，郭國(guó)平研究組發(fā)現(xiàn)單根碳納米管中不同方向的振動(dòng)模式都可以工作在百兆赫茲量級(jí)，這兩個(gè)模式可以通過額外加入一個(gè)參量驅(qū)動(dòng)來進(jìn)行耦合，且通過調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)功率可以實(shí)現(xiàn)從弱耦合到強(qiáng)耦合的線性調(diào)控，這與理論計(jì)算的結(jié)果完全一致。研究組通過控制驅(qū)動(dòng)微波的波形實(shí)現(xiàn)了機(jī)械振動(dòng)中聲子的相干拉比操作，觀測(cè)到10次以上的拉比震蕩，是目前實(shí)驗(yàn)上聲子操作次數(shù)的最大紀(jì)錄，此外拉比操作的頻率大于500千赫茲，比此前的相關(guān)報(bào)道高出兩個(gè)數(shù)量級(jí)。該研究成果發(fā)表在國(guó)際權(quán)威雜志《納米快報(bào)》上。

該系列工作得到了科技部、國(guó)家自然科學(xué)基金委、中科院和教育部的資助。“通過一系列的手段將機(jī)械振動(dòng)冷卻到量子基態(tài)之后，對(duì)聲子的相干操控將在量子傳感、量子信息領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景?！惫鶉?guó)平說。

碳納米管由于其良好的電學(xué)性能、優(yōu)異的力學(xué)性能，近年來被廣泛應(yīng)用于納米機(jī)電系統(tǒng)（NEMS）的相關(guān)研究，在質(zhì)量、微力、氣體、位移等物理量的測(cè)量方面也具有廣闊的應(yīng)用前景。特別地，碳納米管諧振器的機(jī)械模式和單分子磁體、單電子電荷以及自旋等物理量具有較強(qiáng)的耦合，可以用來探索納米尺度下的物理現(xiàn)象，是一種品質(zhì)優(yōu)良的量子傳感器件。

當(dāng)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的特征尺寸縮小到100納米以下時(shí)，又被稱為納機(jī)電系統(tǒng)（NEMS，nanoelectromechanicalsystem）。由于尺寸更小及納米結(jié)構(gòu)所導(dǎo)致的新效應(yīng)，NEMS器件可以提供很多MEMS器件所不能提供的特性和功能，例如超高頻率、低能耗、高靈敏度、對(duì)表面質(zhì)量和吸附性前所未有的控制能力等。

MEMS傳感器作為國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場(chǎng)前景廣闊等特點(diǎn)備受世界各國(guó)的關(guān)注。

我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展也面臨著重大機(jī)遇，特別是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。

NEMS（納機(jī)電系統(tǒng)）是未來MEMS傳感器發(fā)展趨勢(shì)之一，近幾年，MEMS與納米技術(shù)融合的步伐在加快。一方面新的納米材料與納米加工技術(shù)越來越多地在MEMS技術(shù)中得到應(yīng)用，促進(jìn)了微機(jī)電系統(tǒng)性能提高和新器件的涌現(xiàn)，另一方面微納機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)也提供了新的納米級(jí)三維加工手段，催生了諸如NEMS繼電器等新型的IC器件。

中國(guó)科學(xué)院院士在納米機(jī)電系統(tǒng)研究中取得系列進(jìn)展，通過一系列的手段將機(jī)械振動(dòng)冷卻到量子基態(tài)之后，對(duì)聲子的相干操控將在量子傳感、量子信息領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。

這些成果必將提高我國(guó)NEMS（納機(jī)電系統(tǒng)）產(chǎn)品整體研發(fā)水平，助力中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)躋身世界前列。