【中國傳動網(wǎng) 新品新聞】臺積電前不久試產(chǎn)了7nmEUV工藝，預(yù)計明年大規(guī)模量產(chǎn)，三星今天宣布量產(chǎn)7nmEUV工藝，這意味著EUV工藝就要正式商業(yè)化了，而全球最大的光刻機公司荷蘭ASML為這一天可是拼了20多年。ASML公司日前發(fā)布2018年Q3季度財報，當(dāng)季營收27.8億歐元，凈利潤6.8億歐元，出貨了5臺EUV光刻機，全年預(yù)計出貨18臺，明年將增長到30臺，而且明年下半年會推出新一代的NXE:3400C型光刻機，生產(chǎn)能力從現(xiàn)在的每小時125晶圓提升到155片晶圓以上，意味著產(chǎn)能提升24%。
根據(jù)ASML公司的Q3季度財報，ASML的設(shè)備銷售營收20.81億歐元，安裝管理服務(wù)等業(yè)務(wù)營收6.95億歐元，當(dāng)季營收27.76億歐元，同比增長13.4%，環(huán)比增長1%，不過毛利率達(dá)到了48.1%，同比增加5.2個百分點，環(huán)比也增加了4.8個百分點。
Q3季度的光刻機銷售中，韓國公司占比33%，臺灣公司占比30%，大陸公司占比18%，前一個季度中大陸公司占比是19%，不過Q3季度中臺灣公司占比從18%增長到了30%，韓國公司占比從35%降至33%。
在單機過億歐元的EUV光刻機方面，Q3季度ASML出貨了5臺EUV光刻機，上個季度出貨7臺EUV光刻機，預(yù)計Q4季度出貨6臺EUV光刻機，全年出貨的數(shù)量將達(dá)到18臺，而2019年EUV光刻機預(yù)計出貨數(shù)量達(dá)到30臺。
明年除了EUV光刻機數(shù)量大漲之外，ASML公司明年下半年還將推出進(jìn)一步改進(jìn)的NXE:3400C光刻機，WPH（每小時處理的晶圓數(shù)量）產(chǎn)能將提升到155片，而現(xiàn)在的NXE:3400B型EUV光刻機的產(chǎn)能在合作伙伴的工廠中已經(jīng)實現(xiàn)了125WPH的產(chǎn)能，NXE:3400C的產(chǎn)能預(yù)計再提升24%，這對改善EUV工藝的產(chǎn)能很有幫助。
不過EUV光刻工藝今年正式量產(chǎn)只是一個開始，EUV光刻工藝目前離成熟還早呢，155WPH的產(chǎn)能可喜可賀，但是現(xiàn)在的沉浸式光刻機的產(chǎn)能可達(dá)250WPH，而且能以250W的光源長時間穩(wěn)定運行，這些都是EUV光刻機暫時做不到的。
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