近兩年，中國(guó)大陸地區(qū)的半導(dǎo)體廠（包括IDM和Foundry）項(xiàng)目不斷涌現(xiàn)，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，截至2020年，國(guó)內(nèi)將新增20座晶圓廠。此外，各種尺寸的LCD和OLED顯示面板項(xiàng)目也是欲罷不能，特別是京東方、維信諾、華星光電和天馬微電子這幾家顯示面板的龍頭企業(yè)，在全國(guó)各地不斷上馬新世代的面板項(xiàng)目。

以上這些催生出產(chǎn)業(yè)對(duì)各種半導(dǎo)體制造設(shè)備和材料的巨大需求，作為半導(dǎo)體制造行業(yè)的“糧食”——半導(dǎo)體材料——會(huì)有良好的發(fā)展前景。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，2017年全球半導(dǎo)體材料市場(chǎng)規(guī)模為470億美金，同比增長(zhǎng)了10%，其中，芯片制造材料規(guī)模占比接近60%，達(dá)到278億美金，封裝材料市場(chǎng)規(guī)模為192億美金。

2017年中國(guó)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)規(guī)模約為76億美金。雖然國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)在全球占比不斷提升，已經(jīng)從2007年的7.5%提升至2017年的16%，但依然被日本、歐洲和美國(guó)的相關(guān)大企業(yè)把持著，而中國(guó)的企業(yè)實(shí)力相對(duì)薄弱，材料自給率不超過(guò)20%。

另外，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料90%以上的收入來(lái)自于后道晶圓封裝市場(chǎng)，在前道晶圓制造領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)材料還難以進(jìn)入主流供應(yīng)鏈。以芯片制造材料為例，占比最大的硅片供給中，日本、中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)以及德國(guó)等地的5大廠商占據(jù)了主要份額，而國(guó)內(nèi)已經(jīng)量產(chǎn)的12英寸大硅片仍在認(rèn)證階段。因此，我們的總體水平還有待提升。

與此同時(shí)，我國(guó)半導(dǎo)體制造業(yè)的快速發(fā)展，給本土的半導(dǎo)體材料企業(yè)提供了難得的發(fā)展機(jī)遇。預(yù)計(jì)在國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的推動(dòng)下，未來(lái)5年國(guó)內(nèi)，我國(guó)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)的復(fù)合年增長(zhǎng)率將達(dá)到15%，到2023年，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)規(guī)模將增至153億美金。

在這樣良好的發(fā)展契機(jī)下，國(guó)內(nèi)一批規(guī)劃較早、研發(fā)實(shí)力較強(qiáng)的企業(yè)不斷開(kāi)疆?dāng)U土，再加上越來(lái)越多產(chǎn)業(yè)資本的加注，助其實(shí)力穩(wěn)步提升，一點(diǎn)一點(diǎn)地蠶食著外企的市場(chǎng)份額。

半導(dǎo)體材料的種類很多，如晶圓（以8英寸和12英寸為主）、光刻膠、掩模版、電子級(jí)高純多晶硅、電子特種氣體、濕電子化學(xué)品、濺射靶材，以及CMP拋光液和拋光墊等。當(dāng)然不止這些，其它的就不一一列舉了。

在我國(guó)的半導(dǎo)體材料行業(yè)中，每一個(gè)細(xì)分領(lǐng)域都有多家優(yōu)秀的企業(yè)在摸爬滾打，其中不乏1~2家佼佼者，引領(lǐng)著本土產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，具體都有哪些呢？下面就來(lái)看一下。

上海新昇

在我國(guó)本土的晶圓，特別是12英寸大硅片生產(chǎn)企業(yè)當(dāng)中，上海新昇是初創(chuàng)公司，同時(shí)也是行業(yè)明星。

2014年，上海新陽(yáng)與興森科技、新傲科技等合資創(chuàng)立了上海新昇半導(dǎo)體，是國(guó)家02專項(xiàng)300mm大硅片項(xiàng)目的承擔(dān)主體，第一大股東國(guó)家大基金旗下的上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司持股62.82%，上海新陽(yáng)為第二大股東，持股27.56%。

上海新昇項(xiàng)目總投資68億元，一期總投資23億元。新昇半導(dǎo)體一期投入后，預(yù)計(jì)最終將形成60萬(wàn)片/月的12英寸硅片產(chǎn)能，年產(chǎn)值達(dá)到60億元。項(xiàng)目第一期的正常建設(shè)周期為3年，原計(jì)劃2017年底實(shí)現(xiàn)15萬(wàn)片/月的產(chǎn)能，但由于關(guān)鍵設(shè)備采購(gòu)困難等問(wèn)題，進(jìn)展不及預(yù)期。目前產(chǎn)能為6萬(wàn)片/月。

其12英寸大硅片的主要客戶為中芯國(guó)際、華力微電子等。此外，該公司大硅片在武漢新芯的認(rèn)證工作也在進(jìn)行當(dāng)中。

按照上海新昇的年度計(jì)劃，硅片產(chǎn)能在2018年底前達(dá)到10萬(wàn)片/月，按照第一期投資計(jì)劃，明年的產(chǎn)能可以達(dá)到15萬(wàn)片/月。上海新陽(yáng)在今年7月表示，上海新昇當(dāng)前產(chǎn)能為6萬(wàn)片/月。

上海新昇300mm大硅片的測(cè)試片、擋片和陪片在2017年實(shí)現(xiàn)銷售，正片方面，2018年第一季度末已通過(guò)了華力微電子的驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)了銷售。不過(guò)，上海新陽(yáng)表示上海新昇的正片銷售給華力微電子的數(shù)量不多，正在增量過(guò)程中。

晶瑞股份

光刻技術(shù)隨著IC集成度的提升而不斷發(fā)展。為了滿足集成電路對(duì)集成度的更高要求，半導(dǎo)體用光刻膠通過(guò)不斷縮短曝光波長(zhǎng)以提高極限分辨率，光刻膠的波長(zhǎng)由紫外寬譜逐步至g線（436nm）、i線（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）、F2（157nm）水平。

晶瑞股份的子公司瑞紅化學(xué)是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠龍頭，主要產(chǎn)品包括G線、I線光刻膠、LCD觸摸屏用光刻膠等。

其產(chǎn)品包含紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分g線，i線正膠等高端產(chǎn)品。瑞紅擁有達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的光刻膠生產(chǎn)線，實(shí)行符合現(xiàn)代微電子化學(xué)品要求的凈化管理，配備了一流的光刻膠檢測(cè)評(píng)價(jià)裝置，并承擔(dān)了國(guó)家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)了IC制造商大量使用的核心光刻膠，即i線光刻膠的量產(chǎn)，產(chǎn)品采用步進(jìn)重復(fù)投影曝光技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高分辨率。

路維光電

光掩膜版，是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu)，再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上，它是限制工藝最小線寬的瓶頸器件。光掩膜版和光刻機(jī)共同決定了工藝的先進(jìn)程度。同光刻膠的供需情況類似，由于掩膜版工藝具有技術(shù)密集和資金密集的特點(diǎn)，存在一定的技術(shù)壁壘。

多數(shù)情況下，光掩膜版由集成電路制造廠家設(shè)計(jì)制造，以便和光刻機(jī)配合使用，如臺(tái)積電、英特爾、三星等的光掩模版由自己的專業(yè)工廠生產(chǎn)。

我國(guó)大陸地區(qū)的光掩膜版行業(yè)僅能夠滿足大陸中低檔產(chǎn)品市場(chǎng)的需求，高檔光掩膜版則依賴進(jìn)口。目前，中芯國(guó)際自己設(shè)計(jì)光掩膜版，并且具備28nm的制造能力，但是仍和先進(jìn)制程廠家存在差距。

另外，路維光電具備光掩膜版生產(chǎn)能力，但產(chǎn)品主要用于顯示面板。2018年1月，路維光電大陸首條G11光掩膜版項(xiàng)目在成都高新區(qū)啟動(dòng)。該項(xiàng)目總投資10億元，建成后將成為我國(guó)大陸地區(qū)最大的掩膜版制造基地。該項(xiàng)目于2018年四季度投產(chǎn)。

鑫華半導(dǎo)體

2015年12月，徐州鑫華半導(dǎo)體由國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資建設(shè)，打造國(guó)內(nèi)首條5000噸集成電路專用電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線。該項(xiàng)目是工業(yè)和信息化部強(qiáng)基工程中標(biāo)項(xiàng)目，也是科技部02專項(xiàng)子項(xiàng)目。

2017年11月，鑫華半導(dǎo)體正式發(fā)布電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)出貨。

目前，鑫華半導(dǎo)體第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸，產(chǎn)品可保證國(guó)內(nèi)企業(yè)三至五年內(nèi)電子級(jí)多晶硅不會(huì)缺貨。同時(shí)，還將規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線，以更好地滿足市場(chǎng)需求。

據(jù)悉，除了已向國(guó)內(nèi)部分晶圓加工廠批量供貨外，經(jīng)過(guò)一系列嚴(yán)格的驗(yàn)證、檢測(cè)，今年5月初，鑫華半導(dǎo)體的集成電路用高純度硅料實(shí)現(xiàn)了向韓國(guó)小批量出口。

中船重工七一八所

電子特種氣體是在集成電路制造領(lǐng)域應(yīng)用的、有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。高純氣體也是整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵原材料之一，大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路的國(guó)產(chǎn)化亟待高純電子氣體的配套支持。電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場(chǎng)需求半導(dǎo)體材料。

中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所作為國(guó)家“02專項(xiàng)”氣體項(xiàng)目的牽頭單位，成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟環(huán)丁烷、氯化氫、氟化氫等9種高純氣體及10種混合氣體，并成功量產(chǎn)。

三氟化氮、六氟化鎢打破了國(guó)外壟斷，產(chǎn)能分別達(dá)到9000噸/年、1300噸/年，三氟化氮的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到95％以上，國(guó)際市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到30％。六氟化鎢的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到100％，國(guó)際市場(chǎng)覆蓋率達(dá)到40％。這兩類產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模均位居國(guó)內(nèi)第一，世界前三，基本進(jìn)入了國(guó)內(nèi)所有的半導(dǎo)體、液晶面板及太陽(yáng)能行業(yè)的廠家及全球知名的半導(dǎo)體廠。

江化微

濕電子化學(xué)品指為微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、濕法清洗）制程中使用的各種電子化工材料。濕電子化學(xué)品按用途可分為通用化學(xué)品(又稱超凈高純?cè)噭?和功能性化學(xué)品(以光刻膠配套試劑為代表)。其中超凈高純?cè)噭┮话阋蠡瘜W(xué)試劑中控制顆粒的粒徑在0.5μm以下，雜質(zhì)含量低于ppm級(jí)，是化學(xué)試劑中對(duì)顆粒控制、雜質(zhì)含量要求最高的試劑。功能濕電子化學(xué)品是指通過(guò)復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的配方類或復(fù)配類化學(xué)品。

目前，國(guó)內(nèi)濕電子化學(xué)品的主要廠商有江化微、晶瑞股份等。江化微主要從事超凈高純?cè)噭⒐饪棠z配套試劑等專用濕電子化學(xué)品的研發(fā)和生產(chǎn)。

該公司生產(chǎn)的超凈高純?cè)噭┌ㄋ釅A類試劑、蝕刻類試劑和溶劑，大部分產(chǎn)品可達(dá)UL級(jí)和SL級(jí)，其中UL級(jí)等同于美國(guó)SEMEC7標(biāo)準(zhǔn)，控制0.5、0.3μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素控制在10PPb以下；SL級(jí)等同于美國(guó)SEMEC8標(biāo)準(zhǔn)，控制0.3μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素控制在1PPb以下。

江豐電子

濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理氣象沉積(PVD)工藝，是制備晶圓、面板、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過(guò)加速聚集而形成高速的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換，使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。

目前，我國(guó)靶材龍頭企業(yè)江豐電子、隆華節(jié)能、有研新材、阿石創(chuàng)已經(jīng)分別進(jìn)入國(guó)內(nèi)外主流半導(dǎo)體、平板顯示、光伏、光學(xué)器件企業(yè)供應(yīng)鏈體系，且已經(jīng)在部分企業(yè)本土產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)中大批量供貨。

江豐電子是我國(guó)高純?yōu)R射靶材龍頭企業(yè)，該公司產(chǎn)品包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、鎢鈦靶等高純?yōu)R射靶材，應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、太陽(yáng)能等領(lǐng)域。

超高純金屬及濺射靶材是生產(chǎn)超大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵材料之一，長(zhǎng)期以來(lái)被日美企業(yè)壟斷。目前，江豐電子的產(chǎn)品已應(yīng)用于世界著名半導(dǎo)體廠商的先進(jìn)制造工藝，在16nm節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)批量供貨，同時(shí)還滿足了國(guó)內(nèi)廠商28nm節(jié)點(diǎn)的量產(chǎn)需求。

該公司的大客戶包括臺(tái)積電、聯(lián)電、格芯、意法半導(dǎo)體、中芯國(guó)際、華虹等。

安集微電子

CMP技術(shù)所采用的材料包括拋光液和拋光墊。CMP拋光液是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑，主要運(yùn)用于集成電路和超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)。CMP拋光液對(duì)晶硅襯底進(jìn)行機(jī)械拋光，以消除前加工表面損傷沾污、控制誘生二次缺陷和雜質(zhì)，實(shí)現(xiàn)硅片全局平面化。

2008年前，我國(guó)90%的拋光液需要進(jìn)口，高端拋光液如8英寸、12英寸晶圓用拋光液更是100%的依賴進(jìn)口。目前，國(guó)內(nèi)在拋光液行業(yè)已有幾十家生產(chǎn)企業(yè)，打破了國(guó)外完全壟斷的格局，但主要生產(chǎn)中低端產(chǎn)品，用于金屬的拋光，中國(guó)目前不銹鋼、鋁、鎢等中低端的拋光液基本實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。多數(shù)企業(yè)仍處在4英寸、6英寸拋光液生產(chǎn)階段。而擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、具備生產(chǎn)8英寸、12英寸晶圓拋光液能力的國(guó)內(nèi)企業(yè)僅有上海安集微電子一家。

安集微電子主要生產(chǎn)高端研磨液、高精度拋光液、去光阻液等高純度集成電路專用電子材料。目前，該公司還是國(guó)內(nèi)唯一一家在電子化學(xué)品細(xì)分領(lǐng)域打破了國(guó)外半導(dǎo)體巨頭企業(yè)如IBM、應(yīng)用材料、杜邦在中國(guó)的壟斷，成為英特爾、三星、臺(tái)積電、中芯國(guó)際等公認(rèn)的中國(guó)集成電路拋光液唯一供應(yīng)商。

鼎龍股份

作為CMP拋光過(guò)程中最重要的材料消耗品之一，CMP拋光墊按磨料、材質(zhì)和表面結(jié)構(gòu)的差異，可以分為三大類、八小類。

中國(guó)大陸國(guó)產(chǎn)高端拋光墊市占率幾乎為0，本土企業(yè)仍處于嘗試突破階段。長(zhǎng)期以來(lái)，大陸企業(yè)沒(méi)有能夠生產(chǎn)集成電路拋光墊的，由于海外企業(yè)對(duì)我國(guó)實(shí)施技術(shù)封鎖，專利壁壘是實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代的難點(diǎn)所在。經(jīng)歷多年的自主研發(fā)，我國(guó)大陸拋光墊終于由鼎龍股份取得突破。

鼎龍股份2014年建立了專項(xiàng)實(shí)驗(yàn)室，2015年3月，鼎龍股份斥資1億元建設(shè)CMP拋光墊產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目一期工程。2016年5月，該公司再度募集資金投入集成電路拋光工藝材料的產(chǎn)業(yè)化二期，兩項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，產(chǎn)能為50萬(wàn)片。

2017年，鼎龍股份第一款拋光墊產(chǎn)品通過(guò)了客戶驗(yàn)證，并進(jìn)入供應(yīng)商體系，使中國(guó)在拋光墊材料領(lǐng)域打破了國(guó)外壟斷，占有了一席之地。

2018年1月，鼎龍股份收購(gòu)了時(shí)代立夫69.28％股權(quán)。時(shí)代立夫承接了“國(guó)家02專項(xiàng)計(jì)劃”課題任務(wù)，CMP拋光墊下游客戶包括中芯國(guó)際、上海華力、中航微電子等國(guó)內(nèi)主要半導(dǎo)體制造廠商。

結(jié)語(yǔ)

以上企業(yè)都是相應(yīng)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的領(lǐng)跑者，當(dāng)然，優(yōu)秀的企業(yè)不止這些，就不在此一一列舉了。相信在本土企業(yè)的共同努力下，必能將我國(guó)的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)帶上一個(gè)新臺(tái)階，逐步實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)外產(chǎn)品的替代。

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