約翰內(nèi)斯·海德漢博士（中國(guó)）有限公司是德國(guó)海德漢公司在中國(guó)的獨(dú)資公司，總部設(shè)在北京，在上海、深圳、哈爾濱、沈陽(yáng)、西安、南京、武漢、寧波和成都設(shè)有分公司和辦事處。海德漢是一家研發(fā)和制造光柵尺，角度、旋轉(zhuǎn)編碼器，長(zhǎng)度計(jì)，數(shù)控系統(tǒng)，測(cè)頭和數(shù)顯表等的專(zhuān)業(yè)公司。產(chǎn)品遍布全球，具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括機(jī)床行業(yè)、自動(dòng)化設(shè)備制造行業(yè)、半導(dǎo)體和電子器件設(shè)備制造業(yè)、航空航天、紡織和印刷機(jī)械以及電梯等行業(yè)。
總部位于瑞士的ETEL公司從事研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化、生產(chǎn)、供應(yīng)鏈、質(zhì)量管理、銷(xiāo)售、市場(chǎng)推廣和技術(shù)支持工作。所有產(chǎn)品設(shè)計(jì)和生產(chǎn)都在ETEL瑞士總部進(jìn)行。作為當(dāng)今市場(chǎng)上直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)型號(hào)最齊全的供應(yīng)商，ETEL公司提供從納米級(jí)高精度的高端運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)到大扭矩/大推力工業(yè)應(yīng)用的全面解決方案。ETEL不斷展現(xiàn)以直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)為基礎(chǔ)的部件及系統(tǒng)的強(qiáng)大創(chuàng)新能力和領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。我們的目標(biāo)是預(yù)知市場(chǎng)需求并成功開(kāi)發(fā)新型和創(chuàng)新的系統(tǒng)架構(gòu)，確保我們保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。ETEL始終著眼于前沿和突破性技術(shù)研發(fā)；只有長(zhǎng)期堅(jiān)持才能成功。這一理念不僅保持ETEL和其客戶現(xiàn)在的成功，也保證未來(lái)的成功。
下面是本次展會(huì)海德漢和ETEL的主要展品介紹。
1、VULCANO XYZ3T H QuiET堆疊平臺(tái)
是由Vulcana XY系統(tǒng)和一個(gè)XYZ3T H多功能模塊組成的高精度多軸系統(tǒng)，該平臺(tái)也集成了QuiET主動(dòng)避震系統(tǒng)。
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊
納米級(jí)的位置穩(wěn)定性
高動(dòng)態(tài)性能：2.5 g，1.5 m/s
運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間短
兼容ISO 1級(jí)超凈車(chē)間
±0.1°以上的搖擺和傾斜修正范圍
帶雙Z軸，內(nèi)置Z軸重力補(bǔ)償
優(yōu)異的Z軸直線度
更高Z軸重復(fù)精度和抖動(dòng)性能
可修正工作臺(tái)平面度
卡盤(pán)面帶真空接口
產(chǎn)品性能：軸搖擺和傾斜粗大Z軸旋轉(zhuǎn)軸
2、Charon2 Z3TM QuiET 堆疊平臺(tái)
是由CHARON2 XY系統(tǒng)和一個(gè)Z3TM組合模塊以及一個(gè)垂直直線軸組成的高精度多軸系統(tǒng)，該平臺(tái)也能集成了QuiET主動(dòng)避震系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
總行程：達(dá)650 mm x 410 mm
9種CHARON2標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 x 2種可選的電子系統(tǒng)=18種現(xiàn)成方案可供選擇
兼容ISO 2 或者 ISO1級(jí)超凈車(chē)間
使用Z3TM組合模塊校正傾斜度
卡盤(pán)面帶真空接口
運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間短
有效負(fù)載和高達(dá)30千克
靈活的應(yīng)用和使用用例
同級(jí)中更優(yōu)的擁有成本
模塊型、可擴(kuò)展的性能和現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)
產(chǎn)品性能：
3、RTMBi 高性能分選臺(tái)
與TUCANA and AQUARIUS 力控制短程執(zhí)行器及AccurET控制單元一起使用的RTMBi，是半導(dǎo)體后段高速轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)試方案的最佳選擇。
RTMBi 主要特點(diǎn):
高動(dòng)態(tài)分度應(yīng)用的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)
5種不同高度
大扭矩高度比
高動(dòng)態(tài)性能能力
大空心軸，最高靈活性
TMB力矩電機(jī)提供大扭矩
最高轉(zhuǎn)速 1200 rpm
重復(fù)定位精度（雙向） ±3 角秒 at ±3sigma
定位精度：
±20角秒(mapping補(bǔ)償前)
±6 角秒(mapping補(bǔ)償后)
TUCANA and AQUARIUS 主要特點(diǎn):
AQUARIUS
行程：10 mm
峰值推力：120 N
連續(xù)推力：29.5 N
速度達(dá)：1 m/s
加速度達(dá)：30 g
TUCANA
行程：10 mm
峰值推力：29 N
連續(xù)推力：11.5 N
速度達(dá)：1 m/s
加速度達(dá)：30 g
4、UltimET運(yùn)動(dòng)控制單元與AccurET位置控制單元
能驅(qū)動(dòng)市場(chǎng)上絕大多數(shù)伺服電機(jī)（無(wú)刷電機(jī)，直流電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)），并實(shí)現(xiàn)完美的控制性能。
主要特點(diǎn)：
直驅(qū)控制應(yīng)用的最高成就
高端多軸應(yīng)用中的同步和插補(bǔ)功能
高級(jí)伺服算法
通過(guò)ETEL實(shí)時(shí)總線（TransnET）進(jìn)行超高速通信
緊湊的外形，簡(jiǎn)單的布線，便于設(shè)備安裝
用于設(shè)置，識(shí)別，調(diào)校和監(jiān)控的ComET軟件工具包，簡(jiǎn)單易用，可幫助客戶迅速提高系統(tǒng)的應(yīng)用能力
模塊化結(jié)構(gòu)和緊湊型解決方案
可選配嵌入式擴(kuò)展卡
標(biāo)配3D mapping位置修正功能
非常適合電子及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
5、直線電機(jī)
ETEL是業(yè)內(nèi)提供標(biāo)準(zhǔn)化直線電機(jī)產(chǎn)品品種最全的公司。50多種型號(hào)，幾乎能滿足任何應(yīng)用要求。
有鐵芯電機(jī)主要特點(diǎn)
LMA 系列
最大持續(xù)推力
最適用于高負(fù)荷周期應(yīng)用
兼容600 VDC
LMG 系列
結(jié)構(gòu)緊湊
經(jīng)濟(jì)適用
高峰值推力
兼容600 VDC
LMS 系列
結(jié)構(gòu)緊湊
經(jīng)濟(jì)適用
較高連續(xù)推力
兼容600 VDC
性能
速度達(dá) 15 m/s
連續(xù)推力可達(dá) 956 N
峰值推力可達(dá) 3650 N
較小的推力波動(dòng)
該類(lèi)直線電機(jī)全部使用相同的MWD磁道
無(wú)鐵芯電機(jī)主要特點(diǎn)
ILF +
中等推力
極小運(yùn)動(dòng)慣量
兼容600 VDC
ILM+
大推力
小運(yùn)動(dòng)慣量
兼容600 VDC
特點(diǎn)：
連續(xù)推力高達(dá) 478 N
重量輕的運(yùn)動(dòng)件低至 100 g
峰值推力可達(dá) 3200 N
可選配:強(qiáng)制風(fēng)冷
無(wú)吸力
無(wú)推力波動(dòng)
6、LIDA、LIF和MS 15系列敞開(kāi)光柵尺
海德漢公司的敞開(kāi)式直線光柵尺特別適用于高速和精密運(yùn)動(dòng)控制。盡管機(jī)械結(jié)構(gòu)是敞開(kāi)式的，但這些光柵尺擁有較強(qiáng)抗污能力，能確保優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，而且安裝簡(jiǎn)單快捷。.
LIDA 系列適用于高速和達(dá)測(cè)量范圍的敞開(kāi)式增量光柵尺
測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá) 30 m。
分辨率 10 nm。
自帶限位功能。
易于安裝，多種安裝方式可選。
有碼盤(pán)和讀數(shù)頭組成。
鋼帶, 玻璃 或者玻璃陶瓷尺體。
LIF 系列敞開(kāi)式增量光柵尺，精度高，重復(fù)性好，安裝簡(jiǎn)單。
玻璃或玻璃陶瓷的尺體。
小信號(hào)周期
分辨率可達(dá) 2 nm
自帶回零軌和限位開(kāi)關(guān)檢測(cè)位置
有碼盤(pán)和讀數(shù)頭組成。
可在真空環(huán)境下使用 (具體型號(hào)參見(jiàn)產(chǎn)品手冊(cè))
MS15自帶歸位和限位功能的敞開(kāi)式直線光柵尺
自帶三色指示燈，可顯示信號(hào)質(zhì)量
高質(zhì)量的單場(chǎng)掃描限號(hào)
可定制的參考標(biāo)記位置
抗污染能力強(qiáng)
較高的穿越速度
容易安裝
結(jié)構(gòu)緊湊
分辨率: 10 μm – 0.05 μm
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