相信在我把思銳智能稱之為“國產(chǎn)”半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的時候，也許有人會提出反對意見說——這家公司的技術(shù)不是源自于芬蘭倍耐克(BENEQ)嗎?為什么稱之為國產(chǎn)公司?但正如該公司的副總經(jīng)理陳祥龍所說，這正是核心所在。

　　據(jù)陳祥龍所說，從思銳智能在2018年收購BENEQ開始，公司就一直在推動雙方的合作整合，當中包括雙方人員的互通交流、中國的項目由中芬團隊協(xié)同研發(fā)。“正是因為這樣的人員和技術(shù)的交流，我們公司的ALD(Atomic Layer Deposition：原子層沉積)設(shè)備才能夠那么快地推進國內(nèi)客戶的產(chǎn)線”，陳祥龍表示。他同時也強調(diào)，公司在技術(shù)和專利整合方面也在順利推進中。

　　正是基于以上考慮，筆者把這家近年來崛起的ALD設(shè)備廠商稱之為本土半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。

　　在“進入”中國三年之后，這家設(shè)備新星找到了更廣闊的市場空間。

　　ALD設(shè)備領(lǐng)域的王者

　　據(jù)了解，在剛發(fā)展早期，ALD是被用于生產(chǎn)納米結(jié)構(gòu)的絕緣體(Al2O3/TiO2)和薄膜電致發(fā)光顯示器(TFEL)的硫化鋅(ZnS)發(fā)光層。但因為其擁有優(yōu)異的保形性和均勻性、高的臺階覆蓋率、速率可控性、低溫沉積、薄膜純度以及絕佳覆蓋率等固有優(yōu)點，ALD逐漸“出圈”，從薄膜顯示器走向了半導(dǎo)體、電池、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)和航空航天領(lǐng)域等眾多領(lǐng)域。

　　被思銳智能收購的芬蘭BENEQ正是該領(lǐng)域一個資深玩家。

　　據(jù)陳祥龍介紹，雖然是一家本地化的高端ALD設(shè)備公司，但思銳智能卻是一家非常國際化和全球化的企業(yè)。從整體收入結(jié)構(gòu)看來，歐洲、美國、中國大陸或者是整個亞太地區(qū)的營收各占總收入的1/3。公司合作的客戶也遍布全球40多個國家和地區(qū)，使用公司設(shè)備的客戶也達到400-500家。

　　從創(chuàng)新能力角度看，思銳智能目前大概有200多人，其中博士比例占了將近10%，碩士以上占50%。公司現(xiàn)在在全球ALD布局的專利有大約300個，其中95% 以上是發(fā)明專利，而且主要布局都在歐洲、美國、日本或國內(nèi)，以及中國臺灣地區(qū)?！盁o論是從我們過去服務(wù)的客戶情況，還是從我們專利的情況，以及我們團隊創(chuàng)新的能力來看，我們都是一個有競爭力的公司?！标愊辇垙娬{(diào)。

　　從整個行業(yè)的態(tài)勢來講，在功率化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域，思銳智能無論是在基材的出貨量，還是合作客戶的質(zhì)量上看，公司的表現(xiàn)都不俗。在這個領(lǐng)域，思銳智能也必然是世界上第一梯隊的供應(yīng)商。

　　“Beneq是最早做ALD的公司之一，公司在這個方方面面有著非常深的技術(shù)積累。在將近40年的時間發(fā)展中，公司積累了非常豐富的工藝包。這就讓公司在提供設(shè)備之余，還能給客戶提供完整的鍍膜解決方案?！彼间J智能半導(dǎo)體ALD銷售總監(jiān)高智補充說。

　　據(jù)了解，得益于過往的積累，現(xiàn)在的思銳智能提供開發(fā)服務(wù)、ALD設(shè)備和鍍膜服務(wù)這三方面的服務(wù)：

　　在開發(fā)服務(wù)方面，思銳智能可以提供一系列整套的研發(fā)服務(wù)解決方案，幫助客戶實現(xiàn)一些首批樣品批量生產(chǎn)，不管是樣品，包括薄膜材料研究，還包括和一些客戶在共同的做研究;來到ALD設(shè)備方面，思銳智能則能提供面向不同領(lǐng)域和場景的的設(shè)備;依賴于70臺ALD鍍膜設(shè)備，思銳智能可以為客戶可提供定制化ALD薄膜的生產(chǎn)外包服務(wù)，小規(guī)模試生產(chǎn)或完全外包生產(chǎn)自由選擇，為沒有初期資本投資的公司提供最佳的ALD鍍膜服務(wù)。

　　向更多市場擴張

　　正因為思銳智能的ALD設(shè)備擁有如此巨大的優(yōu)勢和潛力，因此在收購Beneq之后，公司進一步將ALD產(chǎn)品劃分為半導(dǎo)體和非半導(dǎo)體業(yè)務(wù)線。

　　其中非半導(dǎo)體業(yè)務(wù)線包括抗腐蝕鍍膜器件、保形光學(xué)鍍膜、OLED封裝、鋰電池保護層等等，既聚焦于研發(fā)設(shè)備，也聚焦于工業(yè)級應(yīng)用;半導(dǎo)體業(yè)務(wù)則重點發(fā)展其超越摩爾市場的應(yīng)用，當中包括功率器件、RF濾波器器件以及化合物半導(dǎo)體、慣性流體3D MEMS和圖像傳感器，Micro-LED以及芯片級鍍膜封裝。

　　從過去幾年的發(fā)展看來，我們也看到思銳智能正在發(fā)力，將ALD設(shè)備向超越摩爾市場的多個領(lǐng)域擴張。例如在當前火熱的激光雷達領(lǐng)域，ALD就能發(fā)揮關(guān)鍵的作用?！凹す饫走_的核心器件VCSEL從上至下，從抗反射層、表面鈍化層，再到基底的熱吸收層，都全部會用到ALD相關(guān)的工藝。”高智舉例說。

　　能走向那么多市場，除了夯實的技術(shù)基礎(chǔ)外，豐富的產(chǎn)品線才是公司開辟疆土的“先鋒”。

　　高智告訴記者，在面向光電類應(yīng)用，思銳智能有兩個產(chǎn)品，其中一個是面向光學(xué)前端模組的(偏光學(xué)模組)思銳智能的P系列和面向光學(xué)鍍膜的C2R設(shè)備，其中后者也就是他們所說的空間旋轉(zhuǎn)式的等離子增強型ALD。這是一款專門面向光學(xué)光電鍍膜的設(shè)備，其鍍膜速度可以幾乎達到每小時幾微米的厚度，可以媲美整個PVD;

　　還有一個就是面向光學(xué)后端半導(dǎo)體器件的Transform設(shè)備。在這個設(shè)備中，思銳智能為其率先引入了一個叫做“預(yù)加熱”的技術(shù)。因為有了這個模塊的加入，能夠極大程度地縮短ALD的升溫時間。據(jù)了解，以前ALD設(shè)備加熱需要幾個小時，但在新技術(shù)支持下，可以在30秒內(nèi)完成一個到200度的加熱，這樣就可以進而提升其產(chǎn)能。

　　同時，不同于其他ALD設(shè)備只能在“熱法”和“等離子增強型”方案中二選一，思銳智能的產(chǎn)品在一個腔體里面能夠做到既可以執(zhí)行等離子增強型，又可以做到熱法工藝，同時還不僅只局限于單片(可以做batch 25片的工藝)。那就意味著將帶來巨大的產(chǎn)能提升。

　　得益于Transform平臺的優(yōu)勢，思銳智能還在推動ALD設(shè)備向MEMS和CMOS圖像傳感器市場擴張。特別是在CIS市場，據(jù)思銳智能透露，公司產(chǎn)品在這個領(lǐng)域取得了突破性進展。除了上述市場，ALD設(shè)備還在濾波器、Micro-OLED、Micro-LED和光電子等多個應(yīng)用市場尋找發(fā)力點，他們同時還也推出了包括高K介電質(zhì)、表面鈍化、成核層、化學(xué)阻層、防潮層和抗反射鍍膜等ALD解決方案。

　　在思銳智能看來，公司的ALD設(shè)備能夠繼續(xù)向更多市場進軍。且無需花費太多心思，這一方面得益于公司產(chǎn)品本身在技術(shù)上的優(yōu)勢，同時還得歸功于公司在設(shè)計產(chǎn)品時對兼容性的考慮。

　　“我們設(shè)備的設(shè)計是8英寸的，可是我們向上兼容3英寸、4英寸和6英寸。且在兼容不同尺寸的時候，腔體并不需要做硬件的變化，這就給我們的用戶提供了基于尺寸的多樣性?！备咧钦f。至于在面向12英寸的應(yīng)用，按照高智的說法，公司也會在現(xiàn)有的設(shè)備上做升級，這也將是一個最經(jīng)濟的選擇。

　　不會取代傳統(tǒng)設(shè)備

　　從上面C2R的應(yīng)用可以看出，ALD能夠打破傳統(tǒng)的“沉積速度非常慢的工藝”的舊印象，向多個領(lǐng)域的擴展也證明了ALD設(shè)備的通用性。這就引發(fā)人們對其未來能否取代傳統(tǒng)工藝設(shè)備的思考。

　　針對這個問題，陳祥龍回應(yīng)道，在半導(dǎo)體里，大家一定是一個互補的存在。例如在平面光學(xué)，可能還是以平面這種鍍膜就可以;但如果進入到微納光學(xué)，因為擁有更復(fù)雜的光學(xué)結(jié)構(gòu)，就有消除鬼影等需求，這時候ALD就會是個更好的選擇。

　　“因為擁有更多不同的應(yīng)用，我認為CVD、PVD跟ALD都是共存的，而且已經(jīng)共存了好多年，我們相信在這個領(lǐng)域里也是一樣的。但我們可以肯定的是，無論是在半導(dǎo)體還是泛半導(dǎo)體、光學(xué)領(lǐng)域里，隨著器件越來越輕量化、小型化、智能化，ALD的市場一定是越來越大?！标愊辇垙娬{(diào)。

　　“我們一直致力于成為一家全球范圍內(nèi)的高端ALD設(shè)備供應(yīng)商”，陳祥龍最后說。