竹科負(fù)責(zé)人王永壯表示，竹科昨天下午發(fā)生0.05秒到1秒之間的電壓下降(C級(jí)壓降)事故，竹科內(nèi)廠商測得壓降幅度介于79%至95%之間，半導(dǎo)體制程的敏感機(jī)臺(tái)大多有不斷電系統(tǒng)(UPS)保護(hù)，其余機(jī)臺(tái)則會(huì)跳脫電力，啟動(dòng)保護(hù)程序。
業(yè)界人士指出，半導(dǎo)體廠發(fā)生壓降時(shí)，黃光區(qū)有電壓穩(wěn)定裝置，不致發(fā)生晶圓報(bào)廢情況，但薄膜、擴(kuò)散、 蝕刻區(qū)的風(fēng)險(xiǎn)較大，可以說是全面報(bào)廢。
以昨天壓降幅度介于79%至95%之間來看，等于是「斷電」，即便時(shí)間不到1秒鐘，仍會(huì)對廠商造成不一影響。
臺(tái)電新桃供電區(qū)營運(yùn)處表示，昨天下午的電力事故，并非臺(tái)電的輸電系統(tǒng)造成，而是竹科內(nèi)特高壓(161kV)用戶的電力設(shè)備故障所導(dǎo)致。臺(tái)電舉例指出，這類電力事故影響所及，有如在池塘投入石頭，漾起一圈圈的漣漪，愈接近石頭落水處的區(qū)域，壓降幅度愈大。
據(jù)了解，昨天壓降意外起因于位于竹科三期的力積電主變壓器跳脫故障，導(dǎo)致發(fā)生電壓下降波及竹科新竹園區(qū)及新竹市東區(qū)。甚致跨越頭前溪，影響到新竹縣的竹北臺(tái)元科技園區(qū)、竹科生醫(yī)園區(qū)，乃至于位于湖口的新竹工業(yè)區(qū)。
對此，力積電回應(yīng)，壓降時(shí)間相當(dāng)短暫、部分較敏感的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)有跳掉，正在查明原因。但跳電時(shí)間短暫、機(jī)臺(tái)也快速重啟，對生產(chǎn)影響有限。
臺(tái)積電昨指出，公司部分廠區(qū)昨下午受電力壓降影響，壓降發(fā)生原因尚待厘清。廠內(nèi)同仁無安全疑慮，實(shí)際影響確認(rèn)中。聯(lián)電表示，生產(chǎn)營運(yùn)未受影響。
世界先進(jìn)也坦言，旗下新竹廠區(qū)有部分機(jī)臺(tái)因壓降而受影響，目前已依標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序進(jìn)行檢查與復(fù)原，對于公司生產(chǎn)營運(yùn)的影響正在評(píng)估中。
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