新世纪福音战士新剧场版:终,久久九九99,电影牧马人

倍福自動化

　　XPlanar

　　助力實現(xiàn)無磨損晶圓輸送

　　XPlanar 系統(tǒng)是一款集傳統(tǒng)輸送技術(shù)諸多優(yōu)點于一身的平面磁懸浮產(chǎn)品輸送系統(tǒng)，可在半導體設(shè)備制造中為在一個工具內(nèi)以及在幾臺設(shè)備之間處理晶圓及其它產(chǎn)品提供了各種全新的選擇：XPlanar 系統(tǒng)的動子/托盤運動是非接觸式的，不會產(chǎn)生機械磨損。

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　　針對特定應(yīng)用布局機器設(shè)備

　　XPlanar 系統(tǒng)為用戶根據(jù)自己的個性化需求布局機器設(shè)備提供了很大的自由度。XPlanar 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面，比如矩形、圓形或樹狀結(jié)構(gòu)，幾乎無任何限制。機器設(shè)備的布局可以完全根據(jù)用戶要求的功能設(shè)計，XPlanar 系統(tǒng)的大小可以完全根據(jù)用戶的要求調(diào)整，幫助用戶避免額外的費用支出，節(jié)省寶貴的生產(chǎn)空間。

　　柔性無磨損工件輸送系統(tǒng)

　　動子托盤按照單獨定義的路線輸送每個工件。各個生產(chǎn)步驟可以根據(jù)需要相互銜接，使得固定的工位序列成為過去。每個動子托盤的運動相互間可以完全解耦：產(chǎn)品可以相互超車，并且可以在不影響生產(chǎn)流程的情況下從產(chǎn)品流中撤出或進入等候區(qū)(例如，用于冷卻)。由于在一個系統(tǒng)中提供了不同尺寸的動子托盤，因此可以同時生產(chǎn)不同規(guī)格的產(chǎn)品。XPlanar 系統(tǒng)具有卓越的動態(tài)性能和機器人的高精度，是處理不同批量大小和產(chǎn)品規(guī)格變化的高效定位系統(tǒng)。動子托盤根據(jù)為每個產(chǎn)品單獨定義的復雜 XY 幾何圖形運動。

　　大幅減少清潔和維護工作量

　　XPlanar 系統(tǒng)的一大特點就是它能夠大幅減少清潔和維護工作量。與傳統(tǒng)的輸送系統(tǒng)相比，XPlanar 不需要使用導軌、滑輪或潤滑系統(tǒng)。系統(tǒng)所需的定期維護間隔時間大幅減少，從而可以顯著提高系統(tǒng)的可用性。系統(tǒng)的另外一個優(yōu)勢是：所有平面模塊和動子托盤表面都非常光滑，沒有死角。為了在特別苛刻的環(huán)境中使用，XPlanar 平面模塊的表面可以選擇玻璃、不銹鋼或者塑料材質(zhì)，方便清潔，無需使用任何清潔劑，也不會影響動子托盤的懸浮性能。