據(jù)韓國(guó)媒體報(bào)道，為縮小與對(duì)手臺(tái)積電的市占差距，三星開(kāi)始開(kāi)發(fā)極紫外光(EUV)護(hù)膜。
光罩護(hù)膜是極紫外光(EUV)微影曝光時(shí)的關(guān)鍵零件，在光罩加裝一層護(hù)膜，機(jī)器在上面繪制要刻上晶圓的電路，以免光罩受空氣微塵或揮發(fā)性氣體污染，同時(shí)減少光罩損壞率。目前，全球主要供應(yīng)商是荷蘭ASML、日本三井化學(xué)和韓國(guó)S&S Tech。
據(jù)悉，三星此前在 2021年的Foundry Forum就曾宣布要自研EUV護(hù)膜，并2023年初開(kāi)發(fā)透光率達(dá)88%的EUV護(hù)膜。若按照三星計(jì)劃進(jìn)行，目前該公司EUV護(hù)膜應(yīng)已量產(chǎn)，有助達(dá)成供應(yīng)鏈多元化和穩(wěn)定。不過(guò)三星要繼續(xù)開(kāi)發(fā)，因88%透光率護(hù)膜并不是品質(zhì)最好的產(chǎn)品。
韓媒BusinessKorea報(bào)道，三星半導(dǎo)體研究所近期的招聘啟事顯示三星正積極開(kāi)發(fā)透光率92%的EUV護(hù)膜。目前，市場(chǎng)市場(chǎng)研發(fā)透光率達(dá)90%以上EUV護(hù)膜主要為ASML和S&S Tech，后者于2021年成功開(kāi)發(fā)透光率為90%的EUV護(hù)膜。
此外，三星也開(kāi)始研究下一代High-NA EUV護(hù)膜，將采用新材料，也將與外部機(jī)構(gòu)合作，開(kāi)發(fā)評(píng)估碳納米管和石墨烯制EUV護(hù)膜。同時(shí)三星也會(huì)推動(dòng)自行開(kāi)發(fā)的納米石墨薄膜大量生產(chǎn)設(shè)施設(shè)計(jì)。
值得一提的是，臺(tái)積電從2019年開(kāi)始，就使用自行開(kāi)發(fā)的EUV護(hù)膜，且2021年宣布產(chǎn)能比2019年提高20倍。市場(chǎng)人士表示，三星推動(dòng)EUV護(hù)膜開(kāi)發(fā)，就是為了追上臺(tái)積電。
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