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　　雅科貝思將亮相2023 Semicon China展會，屆時(shí)，雅科貝思將展出多款半導(dǎo)體行業(yè)專用高精直驅(qū)產(chǎn)品及解決方案，如：ZTPR晶圓檢測模塊、ADR-H系列高速力矩電機(jī)、高精氣浮平臺、真空電機(jī)等產(chǎn)品，誠邀各位蒞臨雅科貝思展位參觀洽談。

　　? ZTPR晶圓檢測四軸ZT模塊

　　PGS-ZTPR提供4個(gè)自由度的運(yùn)動，在Z向提供4mm的對焦行程并可對Rx和Ry(Tip–Tilt)實(shí)現(xiàn)微調(diào)，T軸可實(shí)現(xiàn)超過200°的旋轉(zhuǎn)。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 磁浮電機(jī)

　　◇ 柔性鉸鏈導(dǎo)向

　　◇ 負(fù)載可達(dá)2.5kg

　　◇ 集成真空傳感器，電磁閥和溫度傳感器

　　適用于

　　薄膜測量、OCD光學(xué)線寬測量等

　　? 高精氣浮轉(zhuǎn)臺

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 中孔設(shè)計(jì)方便電纜或激光穿過

　　◇ 內(nèi)置無刷直驅(qū)電機(jī)

　　◇ 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

　　◇ 扁平設(shè)計(jì)有助于降低系統(tǒng)高度，

　　最小化堆疊誤差

　　◇ 超低速度波動

　　◇ 低軸向/徑向端跳<100nm

　　◇ 重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5arcsec

　　適用于

　　光學(xué)檢測、晶圓檢測、納米技術(shù)設(shè)備制造、光學(xué)制造等

　　? XY高精氣浮平臺

　　該系列集成了氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)、高精度光學(xué)編碼器、高柔屏蔽線纜等零部件。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 自產(chǎn)高剛性氣浮導(dǎo)軌(專利技術(shù))

　　◇ 300mm行程雙向重復(fù)定位精度

　　<0.15(±0.075)μm

　　◇ 300mm行程平面度<±0.75μm

　　適用于

　　晶圓檢測、單點(diǎn)鉆石車削、激光微加工等

　　? 分選機(jī)專用高速力矩電機(jī)

　　轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)尤其適用于小型片式半導(dǎo)體分立元件的打標(biāo)、測試、分選和包裝，是一種主轉(zhuǎn)盤在中心，各個(gè)測試工位按照順序均布在主電機(jī)周圍的一種高速分選機(jī)，通常包含工位有16個(gè)和24個(gè)等多種型號。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 直驅(qū)無刷電機(jī)

　　◇ 低慣量設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動慣量低至0.0025kg·m2

　　◇ 重復(fù)定位精度可達(dá)±2arcsec

　　適用于

　　芯片焊接機(jī)、分選機(jī)等

　　? 真空直線電機(jī)

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 低釋氣

　　◇ 真空兼容(RGA測試)

　　◇ 無鐵芯技術(shù)

　　◇ 零齒槽力

　　◇ 高持續(xù)力和峰值力

　　◇ 持續(xù)力范圍: 4.5N~769N

　　適用于

　　前道/后道晶圓搬運(yùn)及檢測設(shè)備、玻璃及液晶面板，生物醫(yī)療設(shè)備等有真空要求的場合

　　? 真空旋轉(zhuǎn)電機(jī)(接受定制)

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 低釋氣

　　◇ 高真空度10-7 torr

　　◇ 直驅(qū)無刷永磁電機(jī)

　　? 高速龍門

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 高速高加速龍門結(jié)構(gòu)

　　◇ 加速度可達(dá)3g

　　◇ 速度可達(dá)3m/s

　　◇ 行程 600*600mm

　　適用于

　　半導(dǎo)體貼片設(shè)備、微組裝及測試等

　　? 龍門平臺(運(yùn)動控制和驅(qū)動)

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 柔性龍門控制，搭配3D誤差補(bǔ)償

　　◇ 星型拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)8軸61μs的刷新頻率

　　◇ CNC模式，支持G代碼、M代碼

　　? 主動隔振器

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　◇ 減震器采用氣囊實(shí)現(xiàn)被動隔振，由音圈電機(jī)實(shí)現(xiàn)主動減振

　　◇ 使用音圈電機(jī)快速響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)六自由度方向振動消除

　　◇ 主要配置:氣浮模塊、制動器模塊、信號監(jiān)控模塊、控制器模塊

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