近日,南大光電發(fā)布投資者關系活動記錄表,透露旗下已有兩款 ArF 光刻膠進入批量驗證階段。
南大光電表示,ArF光刻膠驗證階段主要分為PRS(光刻膠性能測試)、STR(小試)、MSTR(批量驗證)及Release(通過驗證)四個階段。公司已有兩款膠通過客戶驗證,多款膠正在驗證過程中。驗證中的ArF光刻膠因開始時間不一,驗證進度也不同,其中有兩款膠進入MSTR階段。
南大光電稱,當前公司光刻膠事業(yè)部主要任務是盡快完成更多產(chǎn)品的驗證,加強市場拓展,爭取早日實現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn),形成業(yè)績貢獻。公司用于生產(chǎn)ArF光刻膠的核心原材料,由公司自主研發(fā),對于國內(nèi)具備供應能力的原材料,通過外購解決。
同時,南大光電透露,公司去年發(fā)行可轉換公司債券募集資金9億元,其中8000萬元用于實施“年產(chǎn)140噸高純磷烷、砷烷擴產(chǎn)及砷烷技改項目”,計劃通過擴建和技改,增加磷烷年產(chǎn)能70噸、砷烷年產(chǎn)能70噸。截至目前,項目已建成70噸砷烷產(chǎn)能和35噸磷烷產(chǎn)能,后續(xù)建設正在穩(wěn)步推進中