12月28日，廣州增芯科技有限公司舉行首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式。本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司制造的Primo D-RIE?刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目搬入的首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備。
該設(shè)備的搬入，是繼項(xiàng)目“920封頂”以來的重要交付，標(biāo)志著增芯項(xiàng)目一期工程土建和機(jī)電安裝已經(jīng)完工，項(xiàng)目由建設(shè)期正式轉(zhuǎn)入運(yùn)營前的生產(chǎn)準(zhǔn)備階段。
此前，9月20日，廣州增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園發(fā)布暨增芯項(xiàng)目封頂活動(dòng)在增城開發(fā)區(qū)增芯產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目園舉行。增芯項(xiàng)目，全稱為增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目。
增芯項(xiàng)目占地面積達(dá)370畝，分兩期建設(shè)。2022年12月，包括主廠房在內(nèi)的一期項(xiàng)目宣布動(dòng)工，到今年9月20日主體結(jié)構(gòu)封頂，用時(shí)僅9個(gè)月零6天。
當(dāng)時(shí)，增芯科技總經(jīng)理張亮透露，項(xiàng)目目前已轉(zhuǎn)入機(jī)電安裝階段，計(jì)劃今年12月開始設(shè)備搬入及裝機(jī)，預(yù)計(jì)2024年6月通線，2025年12月達(dá)成月產(chǎn)能2萬片目標(biāo)。
據(jù)了解，增芯12英寸先進(jìn)MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線新建項(xiàng)目，一期總投資70億元，項(xiàng)目建成后將具備年產(chǎn)24萬片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品主要應(yīng)用于汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、類工業(yè)、消費(fèi)電子等領(lǐng)域，是相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)品性能表現(xiàn)的決定因素之一。
資料顯示，增芯科技是一家致力于建設(shè)國內(nèi)第一家專業(yè)定制化12英寸智能傳感器芯片制造企業(yè)，以力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片為主要產(chǎn)品。
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