范登布林克在本月 21~22 日舉行的 2024 年度 imec ITF World 技術(shù)論壇上表示：
我們提出了一個(gè)長(zhǎng)期(也許十年)的路線圖：我們將擁有一個(gè)包含 Low NA(0.33NA)、High NA(0.55NA)和 Hyper NA(預(yù)計(jì)為 0.7NA 以上) EUV 系統(tǒng)的單一平臺(tái)。
根據(jù)瑞利判據(jù)公式，更高的數(shù)值孔徑意味著更好的光刻分辨率。
范登布林克表示，未來的 Hyper NA 光刻機(jī)將簡(jiǎn)化先進(jìn)制程生產(chǎn)流程，規(guī)避通過 High NA 光刻機(jī)雙重圖案化實(shí)現(xiàn)同等精度帶來的額外步驟與風(fēng)險(xiǎn)。
多種 EUV 光刻機(jī)共用一個(gè)基礎(chǔ)平臺(tái)，在降低開發(fā)成本的同時(shí)，也便于將 Hyper-NA 機(jī)臺(tái)的技術(shù)改進(jìn)向后移植到數(shù)值孔徑更低的光刻機(jī)上。
根據(jù)此前報(bào)道，ASML 最新的 0.33NA EUV 光刻機(jī) ——NXE:3800E 就導(dǎo)入了為 High NA 光刻機(jī)開發(fā)的快速載物臺(tái)移動(dòng)系統(tǒng)。
此外，ASML 還計(jì)劃將其 DUV 和 EUV 光刻機(jī)的晶圓吞吐量從目前的每小時(shí) 200~300 片增加到每小時(shí) 400~500 片，從而提升單臺(tái)光刻機(jī)的生產(chǎn)效率，在另一個(gè)側(cè)面降低行業(yè)成本。
在演講中范登布林克還提到：“當(dāng)前人工智能的發(fā)展趨勢(shì)表明，消費(fèi)者對(duì)多種應(yīng)用有著強(qiáng)烈的需求。而限制需求的因素包括能耗、計(jì)算能力和所需的海量數(shù)據(jù)集?！?/p>
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