9月11日消息，據(jù)外媒報道，在5nm和3nm制程工藝上，臺積電和三星電子從阿斯麥采購了大量的極紫外光刻機(jī)，而隨著制程工藝的升級，臺積電和三星電子也需要購買更先進(jìn)的光刻機(jī)，在2nm以下的制程工藝上，就需要高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。
而外媒最新援引半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)的消息報道稱，臺積電將在月底從阿斯麥接收首臺高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。
阿斯麥公布的消息顯示，他們的高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)，將命名為EXE系列，數(shù)值孔徑將由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工藝。在此前所發(fā)布的財報中，阿斯麥也曾披露他們的EXE系列高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200兩個型號，前者在2018年就已開始獲得客戶的訂單，后者在2021年四季度也獲得了首臺訂單。
從外媒的報道來看，臺積電月底從阿斯麥接收的首臺高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)，是TWINSCAN EXE:5000型號。
雖然外媒在報道中稱臺積電月底就將從阿斯麥接收首臺高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī)，但他們也提到，臺積電是計劃在1.4nm制程工藝上開始采用這一類的光刻機(jī)，他們的1.4nm制程工藝計劃在2027年量產(chǎn)。
在1.4nm制程工藝量產(chǎn)前近3年就開始接收高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī)，也將給臺積電這一制程工藝的研發(fā)及后續(xù)大規(guī)模量產(chǎn)帶來便利，進(jìn)而獲得可觀的訂單，在市場份額上繼續(xù)領(lǐng)先。
在報道中，外媒也提到了阿斯麥高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)的售價，每臺約3.84億美元。
在高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)上，阿斯麥前CEO兼總裁彼得?維尼克2022年的11月份曾透露，將在2024年開始出貨，每臺的價格在3億到3.5億歐元。(海藍(lán))
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