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激光加工屬于非接觸加工，無法直接檢測(cè)焦點(diǎn)位置，而焦點(diǎn)位置由聚焦鏡和加工對(duì)象表面的距離決定。因此，常用的辦法是檢測(cè)聚焦鏡和加工對(duì)象表面的距離，從而間接檢測(cè)激光焦點(diǎn)和加工對(duì)象表面的相對(duì)位置。常用的檢測(cè)方法分接觸式和非接觸式兩種： 1、接觸式傳感器采用一機(jī)械傳動(dòng)裝置和一些直線位移傳感器（常用的為電感式傳感器）組成，將聚焦鏡和加工對(duì)象表面的相對(duì)位移轉(zhuǎn)換成電壓量供控制系統(tǒng)使用。 2、非接觸式傳感器是在光頭上裝一個(gè)電容和電感渦流式傳感器，利用光頭上傳感器的電容或電感的變化來檢測(cè)聚焦鏡和加工對(duì)象表面的相對(duì)距離。這兩種檢測(cè)方法是為了不同的使用場(chǎng)合而定的，電容式非接觸式傳感器主要是用于三維激光金屬加工場(chǎng)合，因?yàn)檫@種場(chǎng)合不便于使用接觸式傳感器。其他場(chǎng)合則使用接觸式傳感器比較合適。但這兩種傳感器都是采用模擬信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)處理的，而在激光切割過程中會(huì)在加工區(qū)產(chǎn)生電離作用，形成電磁干擾，對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生影響；同時(shí)，電感型LVDT傳感器的響應(yīng)頻率低，影響控制系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性，這些都是當(dāng)前迫切需要解決的問題。 PARKER500-FOL運(yùn)動(dòng)控制器為一具有位置主從跟蹤功能的單軸運(yùn)動(dòng)控制器，它除了具有一般運(yùn)動(dòng)控制器的功能外，還具有對(duì)一光碼盤信號(hào)的位置自動(dòng)跟蹤功能，利用這一特性可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)加工時(shí)的激光焦點(diǎn)位置的自動(dòng)跟蹤，也可實(shí)現(xiàn)在點(diǎn)動(dòng)調(diào)整時(shí)的各種操作。由于光碼盤為數(shù)字化位移傳感器，故其檢測(cè)的穩(wěn)定性要高于電感式LVDT位移傳感器；PARKER500運(yùn)動(dòng)控制器對(duì)光碼盤的采樣頻率非常高，所以，采用光碼盤傳感器和PARKER500運(yùn)動(dòng)控制器結(jié)合檢測(cè)，可以大大提高系統(tǒng)的響應(yīng)速度；PARKER運(yùn)動(dòng)控制器有效的位置控制算法可以保證主從跟蹤誤差在幾個(gè)絲之內(nèi)，完全能滿足激光切割對(duì)焦點(diǎn)位置精度的要求。