MEMS不是一個(gè)新名詞，導(dǎo)入應(yīng)用已經(jīng)有2~3年的時(shí)間，主要是利用半導(dǎo)體技術(shù)把機(jī)械做得很小。MEMS產(chǎn)業(yè)自2000年起的發(fā)展歷程可以說(shuō)重覆了過(guò)去半導(dǎo)體的發(fā)展史，包括晶體管、整流器、邏輯IC等等。

      意法半導(dǎo)體技術(shù)營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理郁正德引用iSuppli 2009年的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表示，2008~2013年，MEMS年復(fù)合成長(zhǎng)率為18.4%，然而出貨件數(shù)的成長(zhǎng)率則估計(jì)有40~50%以上，成長(zhǎng)率爆發(fā)，主要是因?yàn)閮r(jià)格下滑嚴(yán)重；尤其是Wii和iPhone大賣(mài)，引發(fā)了MEMS的使用潮，因而供應(yīng)商增加，價(jià)格明顯下跌，因而帶動(dòng)出貨量的增加。

      MEMS納含了所有可能的運(yùn)動(dòng)，意法提供的MEMS包括：加速度改變的加速器(Accelerometers)、角速度改變的陀螺儀(Gyroscopes)、壓力改變的壓力傳感器(Pressure Sensors)，和新產(chǎn)品線麥克風(fēng)(Microphones)。

      首先在MEMS加速器方面，加速度是運(yùn)動(dòng)發(fā)生時(shí)間內(nèi)的速度變化。測(cè)量的是加速度(a：公尺／秒平方)，因?yàn)镕=ma，所以也是測(cè)量力。MEMS陀螺儀測(cè)量角速度(Ω：度／秒)，繞著X、Y、Z軸，分作Pitch (力度)、Roll (旋轉(zhuǎn))和Yaw (偏離)3種方向。意法微機(jī)電的陀螺儀產(chǎn)品線納含30dps至6,000dps，是市場(chǎng)上最廣的。常應(yīng)用于單眼數(shù)碼相機(jī)防手震、車(chē)用衛(wèi)星導(dǎo)航、繪畫(huà)裝置和和游戲裝置。

      MEMS壓力傳感器測(cè)量壓力或海拔(bar/psi)，測(cè)量可達(dá)相當(dāng)高的精確度，元件可以做得很小但量測(cè)敏銳，可以算到千分之一的g (重力加速度)。MEMS麥克風(fēng)利用表面聲波傳導(dǎo)到薄膜振動(dòng)，計(jì)算電容的改變測(cè)量音訊(Db)。

      現(xiàn)在的趨勢(shì)為，將許多傳感器整合在一個(gè)模塊內(nèi)，例STLSM320HAY30為5軸模塊，包括3軸加速器加上2軸陀螺儀，發(fā)表于2009年12月18日。LSM303DLH為6軸模塊，3軸加速器加上3軸磁感應(yīng)器，發(fā)表于2010年元月5日。iPhone 3GS內(nèi)建的電子羅盤(pán)即采用多項(xiàng)MEMS傳感器，未來(lái)4G可望更增加新的功能。整合性的MEMS模塊可以提供不同組合，不需要為每一項(xiàng)功能增加各種傳感器，再使用微處理器來(lái)運(yùn)算；整合型MEMS可以做到軸愈多，尺寸反而可以愈小。

      MEMS動(dòng)作傳感器應(yīng)用很廣，甚至核子反應(yīng)槽也是應(yīng)用項(xiàng)目，可以?xún)?nèi)建MEMS加速器，以測(cè)知有無(wú)不正常震動(dòng)發(fā)生。年代久遠(yuǎn)的橋梁也可以加上RF傳感器，在其崩塌之前可以測(cè)知，可以先行封鎖，避免人車(chē)傷亡。

      另外像動(dòng)作感知游戲利用很多。使用者在用手機(jī)看照片時(shí)，最常利用到人像放大、縮小、旋轉(zhuǎn)的功能，即可藉由MEMS加速器來(lái)達(dá)成。單眼數(shù)碼相機(jī)可以依景自動(dòng)轉(zhuǎn)向，也是該應(yīng)用之一。另外，若是使用者將手機(jī)傾斜，就不需要旋轉(zhuǎn)，也是另一應(yīng)用。

      NB的硬碟若內(nèi)建MEMS加速器，便可以在掉落之前偵測(cè)到不正常運(yùn)動(dòng)的發(fā)生，可以設(shè)定安全防護(hù)裝置，避免硬碟損毀。今年相當(dāng)紅的3D鼠標(biāo)也利用2軸MEMS陀螺儀感測(cè)。單眼數(shù)碼相機(jī)光學(xué)／電子防手震是另一應(yīng)用，尤其500萬(wàn)以上畫(huà)素更需導(dǎo)入。

      LBS (Location Based Service；適地性廣播服務(wù))提供使用者所在位置的相關(guān)信息內(nèi)容，也利用MEMS傳感器，尤其當(dāng)GPS訊號(hào)收不到的地方，陀螺儀可以追蹤出使用者的行動(dòng)、加速器可以強(qiáng)化使用者界面。

      健康管理系統(tǒng)也可以廣泛應(yīng)用，使用者打高爾夫球、網(wǎng)球時(shí)，若內(nèi)建MEMS傳感器，可以偵測(cè)到運(yùn)動(dòng)的力量和速度，亦可以計(jì)步，而且還可以量測(cè)血壓。另外還可以使用于天氣變化預(yù)測(cè)，或用于海拔計(jì)，使用者若要登山即可加以利用。

      車(chē)用可以裝置在安全帶上，若發(fā)生事故，能將意外訊息自動(dòng)傳送到119勤務(wù)中心。蘋(píng)果的星際漫步(Star Walk)藉由MEMS傳感器配合3G信息觀星。新的應(yīng)用還包括測(cè)量人的睡眠周期，可借以設(shè)定選擇在淺層睡眠時(shí)喚醒。