日前，我國(guó)首臺(tái)代表國(guó)際尖端水平的薄膜太陽(yáng)能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備——等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）在上海理想能源設(shè)備公司（以下簡(jiǎn)稱理想能源）成功下線，打破了高端薄膜太陽(yáng)能電池設(shè)備一直被國(guó)外廠商壟斷的局面，并有望大幅降低太陽(yáng)能發(fā)電成本。    

      在生產(chǎn)車間，理想能源總經(jīng)理錢學(xué)煜介紹，一片“1.1米×1.4米”的普通平板玻璃完成導(dǎo)電層覆膜后，進(jìn)入PECVD反應(yīng)腔，完成化學(xué)氣象材料疊層結(jié)構(gòu)的覆膜，厚度增加了兩個(gè)微米，即成為轉(zhuǎn)化率可達(dá)10%的薄膜太陽(yáng)能電池。    

      據(jù)介紹，代表第二代光伏技術(shù)的薄膜太陽(yáng)能電池是在玻璃、金屬或塑料等基板上沉積很薄的光電材料形成的一種太陽(yáng)能電池。它在弱光條件下仍可發(fā)電，既可應(yīng)用于大規(guī)模光伏電站，也可制成柔性及半透明電池，實(shí)現(xiàn)真正的光伏建筑一體化應(yīng)用。這種電池可大幅降低生產(chǎn)過程的能耗，具備顯著降低原料和制造成本的潛力，近年來(lái)逐漸成為光伏產(chǎn)業(yè)的熱點(diǎn)。不過，薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備復(fù)雜昂貴，尤其是關(guān)鍵設(shè)備PECVD，更是高達(dá)上千萬(wàn)美元，長(zhǎng)期以來(lái)一直被歐洲、美國(guó)和日本的企業(yè)壟斷。目前，生產(chǎn)設(shè)備制造成本占我國(guó)薄膜太陽(yáng)能電池發(fā)電成本的7成左右，這導(dǎo)致電力上網(wǎng)價(jià)格比傳統(tǒng)電價(jià)高出一大截，其產(chǎn)業(yè)化瓶頸十分明顯。    

      近年來(lái)，上海積極推進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，大力扶持光伏設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，并將其作為經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)調(diào)整和產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的重要舉措。在各方支持之下，2009年8月，留美博士錢學(xué)煜與一批設(shè)備、工藝、管理專家，在浦東張江高科技園區(qū)成立理想能源公司。一年多里，該公司相繼完成了PECVD首臺(tái)機(jī)的研發(fā)、中試、下線，并申請(qǐng)了10多項(xiàng)核心技術(shù)專利。錢學(xué)煜說，該設(shè)備采用了創(chuàng)新的超高頻射頻技術(shù)，精密的真空和溫度控制技術(shù)，快速自動(dòng)傳輸技術(shù)以及多腔多片的反應(yīng)腔系統(tǒng)等，大大提高了產(chǎn)能，其產(chǎn)品性能優(yōu)于國(guó)際一流設(shè)備，但價(jià)格遠(yuǎn)低于同等的進(jìn)口設(shè)備。    

      理想能源的主要投資方之一正泰集團(tuán)股份有限公司董事長(zhǎng)南存輝說，新能源是國(guó)家重點(diǎn)推進(jìn)的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)之一，光伏產(chǎn)業(yè)前景巨大，但關(guān)鍵是光伏上網(wǎng)發(fā)電價(jià)格能否與傳統(tǒng)電價(jià)持平。掌握核心技術(shù)、提高效率、降低成本，是推動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。    

      工信部裝備工業(yè)司副司長(zhǎng)李東表示，高端薄膜太陽(yáng)能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的研制成功，為我國(guó)新能源產(chǎn)業(yè)的下一步發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。