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中微半導體設備致力于設計及生產(chǎn)，用于12寸晶圓廠關鍵性設備的高科技公司。目前研發(fā)總部位于中國上海，并在臺灣、新加坡、日本、韓國等地設有服務據(jù)點。

中微半導體自主開發(fā)的12寸蝕刻機臺Primo-DRIE，已在全球成功打進位于亞洲9家的客戶的12條晶片生產(chǎn)線，并順利量產(chǎn)了兩百多萬45及40奈米技術(shù)的晶圓，28奈米部分制程技術(shù)也通過了驗證。其線寬均勻性已達到2奈米以下，并實現(xiàn)正負1%的重復性和穩(wěn)定性。中微半導體設備公司作為一家國際性公司，非常愿意在臺灣投資、生根，成為亞洲地區(qū)的研發(fā)、生產(chǎn)及制造基地，與客戶及供應商一起深耕臺灣半導體產(chǎn)業(yè)。

中微半導體成立于2004年，臺灣分公司于2007年登記成立，并于2010年底進駐竹南科學園區(qū)。廠房建置自2011年2月開始進行，于極短時間內(nèi)即完成廠內(nèi)無塵室設備的運轉(zhuǎn)，并于5月下旬開始了第一臺十二寸蝕刻自有產(chǎn)品Primo-DRIE的組裝測試，預計于9月中即可正式出貨給臺灣重要的客戶。

2011年中微半導體已投入金額約1億元，完成臺灣生產(chǎn)線的設立，AMEC臺灣的產(chǎn)線不單單負責生產(chǎn)機臺，還涵蓋后端的組裝、測試，也就是說從臺灣工廠出貨的機臺，將可以直接運送到客戶端作生產(chǎn)用，而不再需要運到第三地作其他的加工或是測試。

未來將再投入2至3億元建立研發(fā)中心，和客戶以及本地的關鍵零組件廠商進行共同研究開發(fā)，生產(chǎn)新一代的產(chǎn)品（CIP，Continuous Improvement Parts），以帶動國內(nèi)科學園區(qū)的產(chǎn)值，更能藉由供應練的在地化，增加就業(yè)機會。

中微還將于今年底舉行臺中分公司新址擴大及啟用典禮，以提供中部客戶更即時的服務以及解決方案，屆時，竹南科學園區(qū)制造暨研發(fā)中心將同新竹分公司、臺南分公司、臺中分公司以及新竹和臺南物流中心一起，組成完整的研發(fā)、制造及服務鏈，為臺灣半導體客戶提供最好的服務。