多晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)雙提升

時(shí)間:2012-02-07

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導(dǎo)語:我國多晶硅的主流生產(chǎn)工藝是改良西門子工藝,少數(shù)幾個(gè)廠家用硅烷法,但產(chǎn)量很少。改良西門子法的核心技術(shù)的有四個(gè)環(huán)節(jié)...

      國內(nèi)一些設(shè)備制造水平參差不齊,還有許多技術(shù)提升工作要做。

  我國多晶硅的主流生產(chǎn)工藝是改良西門子工藝,少數(shù)幾個(gè)廠家用硅烷法,但產(chǎn)量很少。改良西門子法的核心技術(shù)的有四個(gè)環(huán)節(jié):原料的制備和提純、還原、氫化、尾氣干法回收及副產(chǎn)物的回收利用。

  原料制備已能夠滿足多晶硅規(guī)?;a(chǎn),原料提純一般采用提純塔,如高效填料塔、高效篩板塔等,與國外的技術(shù)不相上下,但因產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性與原料提純有直接關(guān)系的,能源消耗也有關(guān)系,所以還有一些需要改進(jìn)的地方。

  還原技術(shù)與裝備,目前國內(nèi)有自主研發(fā)的12對(duì)棒、18對(duì)棒、24對(duì)棒還原爐和正在研發(fā)的36對(duì)棒和48對(duì)棒還原爐,技術(shù)已與世界同步,甚至達(dá)到更先進(jìn)的水平。還原爐的供電和供料系統(tǒng)都有中國特色,還原電耗國內(nèi)最好結(jié)果達(dá)到45kwh/kg,單爐的產(chǎn)量達(dá)到7000kg以上;進(jìn)口還原爐與消化吸收再創(chuàng)新的技術(shù)與裝置,也有同樣效果。

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