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一向孱弱的本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)再度讓人驚訝。　　在上周于日本舉行的Semicon（全球半導(dǎo)體材料與設(shè)備展會）上，上海中微半導(dǎo)體公司（下稱“中微”）宣布，其獨立研發(fā)的用于65納米至45納米高端芯片生產(chǎn)的設(shè)備，正式進入全球頂級半導(dǎo)體主流設(shè)備市場。業(yè)內(nèi)人士表示，中微可能已進入臺積電、中芯國際采購體系。這兩家國際巨頭一直積極推動設(shè)備與零部件的本地化生產(chǎn)。其中，臺積電的目標(biāo)是，2009年設(shè)備本地化生產(chǎn)的比例將提升到50%。而中芯國際之前也已在北京、天津工廠已采用大陸中科信、北方微電子等本土設(shè)備。這也是國家“十一五”計劃將半導(dǎo)體設(shè)備列為關(guān)鍵發(fā)展戰(zhàn)略的背景。信產(chǎn)部副司長丁文武之前對本報表示，“十一五”期間，中國將力爭在6英寸線設(shè)備上完全自主，8英寸線光刻機等設(shè)備實現(xiàn)實用，12英寸線65納米光刻機等設(shè)備有所突破。中微推出的是一臺刻蝕機與一臺高壓熱化學(xué)沉積機器，這是中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)首次推出面向上述制程工藝的設(shè)備。中微董事長、CEO尹志堯說，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的成本已成為決定芯片制造公司能否成功的關(guān)鍵之一。全球半導(dǎo)體市場正持續(xù)朝消費電子轉(zhuǎn)向，消費者對終端價格的敏感讓上游芯片企業(yè)感受到前所未有的壓力，這為中微帶來了機會。尹志堯透露，目前，兩類設(shè)備已經(jīng)向著名的半導(dǎo)體制造公司正式出貨。國際IT調(diào)研機構(gòu)Gartner表示，亞洲未來將成為全球半導(dǎo)體制造業(yè)的中心和半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)的熱土，因為66%的半導(dǎo)體器件、75%的設(shè)備都銷向這里。中微崛起的原因，在于它的團隊與背后資本。尹志堯此前曾先后擔(dān)任英特爾半導(dǎo)體技術(shù)高管、設(shè)備龍頭美國應(yīng)用材料公司全球副總裁，專門從事高端技術(shù)研發(fā)。在國際投資者口中，中微已成為本土“應(yīng)用材料”，在其背后，閃耀著華登國際、高盛、光速、紅點、美國科天等國際著名風(fēng)險投資的名字。不過，尷尬的是，盡管中微等本土企業(yè)已有明顯突破，但相對產(chǎn)業(yè)鏈其他環(huán)節(jié)，設(shè)備業(yè)仍是目前中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中發(fā)展速度最慢的一環(huán)。