產(chǎn)品頻道

VULCANO XYZ3T H QuiET堆疊平臺(tái)

是由Vulcana XY系統(tǒng)和一個(gè)XYZ3T H多功能模塊組成的高精度多軸系統(tǒng)，該平臺(tái)也集成了QuiET主動(dòng)避震系統(tǒng)。

產(chǎn)品亮點(diǎn)：

模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊

納米級(jí)的位置穩(wěn)定性

高動(dòng)態(tài)性能：2.5 g，1.5 m/s

運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間短

兼容ISO 1級(jí)超凈車間

±0.1°以上的搖擺和傾斜修正范圍

帶雙Z軸，內(nèi)置Z軸重力補(bǔ)償

優(yōu)異的Z軸直線度

更高Z軸重復(fù)精度和抖動(dòng)性能

可修正工作臺(tái)平面度

卡盤面帶真空接口

產(chǎn)品性能：軸搖擺和傾斜粗大Z軸旋轉(zhuǎn)軸