產(chǎn)品頻道

　　UHV增量式光柵

　　極低抖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的機(jī)器定位

　　TONiC?系列光柵采用了雷尼紹經(jīng)過(guò)市場(chǎng)檢驗(yàn)的光學(xué)濾波系統(tǒng)和先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù)。自動(dòng)增益控制 (AGC) 和自動(dòng)偏置控制 (AOC) 技術(shù)可減少讀數(shù)頭內(nèi)的模擬信號(hào)噪聲和數(shù)字抖動(dòng)。TONiC光柵提供 <±0.5 nm RMS的極低信號(hào)輸出抖動(dòng)和 <±30 nm的低電子細(xì)分誤差 (SDE)，使系統(tǒng)能夠更好地保持位置并在直線電機(jī)應(yīng)用中產(chǎn)生更少的熱量。

　　高分辨率，可達(dá)1 nm

　　當(dāng)與可選的Ti接口配合使用時(shí)，TONiC?系列光柵可提供高達(dá)1 nm的超高分辨率。對(duì)于需要精確控制速度和位置的應(yīng)用，此功能使TONiC成為此類應(yīng)用的理想選擇，尤其是在低速應(yīng)用中。

　　超高真空和功能安全型號(hào)

　　TONiC?光柵可針對(duì)各種應(yīng)用提供一體解決方案;TONiC與其特定型號(hào)TONiC UHV(用于超高真空應(yīng)用)和TONiC FS(用于需要SiL2和PLd功能安全認(rèn)證的系統(tǒng))具有相同的優(yōu)異測(cè)量能力。