集成電路 (IC) 制造中的材料運(yùn)輸系統(tǒng)可確保半導(dǎo)體設(shè)施內(nèi)材料的精確移動。半導(dǎo)體制造的復(fù)雜性要求在受控潔凈室中無縫傳輸 晶圓、化學(xué)品和工具。新一代半導(dǎo)體中間件智能物流系統(tǒng)正在開發(fā)中， 旨在優(yōu)化物流效率。昆山智能裝備研究院開創(chuàng)智慧物流系統(tǒng)， 注重自主探索和技術(shù)開發(fā)。該研究院將自身定位于前沿開發(fā)研究和示范平臺以展示復(fù)雜半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的技術(shù)能力。

　　背景

　　半導(dǎo)體中間件制造涵蓋硅晶圓、面板、PC 等產(chǎn)業(yè)，面臨 產(chǎn)品規(guī)模擴(kuò)張、物流設(shè)備有限、國內(nèi)智能物流技術(shù)落后等挑戰(zhàn)。 半導(dǎo)體自動化物料控制的演變跨越三個(gè)階段：機(jī)械運(yùn)輸、無人 物料運(yùn)輸和自動化物料控制。日本大福等公司引入了自動化物 料控制以實(shí)現(xiàn)智能車輛管理。 國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)重依賴進(jìn)口 物流系統(tǒng)，體現(xiàn)了對卓越技術(shù)的依賴。昆山智能裝備研究院以 自主研發(fā)為目標(biāo)， 打破國外技術(shù)壟斷， 推動本土替代， 增強(qiáng)自 給自足。這一依賴促進(jìn)創(chuàng)新、彈性和競爭力， 半導(dǎo)體中間件智 能物流系統(tǒng)的開發(fā)就體現(xiàn)了這一點(diǎn)。

　　組成

　　分類轉(zhuǎn)運(yùn)移動機(jī)器人 (STV) 在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著關(guān)鍵

　　作用，具有優(yōu)越的承載能力、車身穩(wěn)定性和獨(dú)特的轉(zhuǎn)向性能。 STV 的承載能力從 0.5T 到 3T，通過有限元分析進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化。 其四輪配置、靈活的穩(wěn)定性和工程分析可解決振動問題， 從而 提高可靠性。實(shí)時(shí)評估確保精確控制， 同時(shí)通過有軌電車供電 系統(tǒng)維持可持續(xù)電力。先進(jìn)的網(wǎng)絡(luò)通信可實(shí)現(xiàn)無縫漫游， 強(qiáng)調(diào) STV 的穩(wěn)定性。專為蜂窩網(wǎng)絡(luò)量身定制的無線橋接技術(shù)提供了 靈活性。STV 調(diào)度系統(tǒng)優(yōu)化了貨物效率， 研究得出了最佳路線 的數(shù)學(xué)模型，鞏固了其在推進(jìn)半導(dǎo)體制造智能物流方面的作用。

　　市場

　　物料搬運(yùn)系統(tǒng)在涉及各個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的集成電路 (IC) 制 造中至關(guān)重要。它們在半導(dǎo)體制造設(shè)施中發(fā)揮著關(guān)鍵作用， 確 保晶圓、化學(xué)品和工具的精確傳輸。除了半導(dǎo)體之外， 這些系統(tǒng)在電子制造、微電子組裝、印刷電路板 (PCB) 制造、太陽 能電池板生產(chǎn)、醫(yī)療設(shè)備制造、航空航天、汽車電子、電信設(shè) 備和消費(fèi)電子制造中也是不可或缺的。它們的廣泛應(yīng)用凸顯了 它們對 IC 制造的根本貢獻(xiàn)，提高了效率、清潔度和準(zhǔn)確性， 這對于生產(chǎn)當(dāng)代電子設(shè)備中不可或缺的半導(dǎo)體元件至關(guān)重要。

　　特色

　　研究強(qiáng)調(diào)物流自動化、柔性調(diào)度的有效性和效率，重點(diǎn) 關(guān)注高效、經(jīng)濟(jì)、節(jié)能、準(zhǔn)確、穩(wěn)定。分揀轉(zhuǎn)運(yùn)移動機(jī)器人 (STV) 配備了適用于彎曲軌道的自適應(yīng)彎曲機(jī)構(gòu)， 可確保車輛在各種 操作過程中的穩(wěn)定性。調(diào)度系統(tǒng)設(shè)計(jì)靈活適應(yīng)生產(chǎn)計(jì)劃， 以持 續(xù)穩(wěn)定的通訊系統(tǒng)和易于操作的精確定位控制系統(tǒng)為支撐。其 他顯著的特點(diǎn)包括大負(fù)載的背負(fù)式運(yùn)輸、啟動和停止時(shí)的穩(wěn)定 性、先進(jìn)的轉(zhuǎn)彎技術(shù)、可持續(xù)的供電系統(tǒng)、精確的控制技術(shù)以 及用于多車輛操作的穩(wěn)定的信號通信系統(tǒng)。這些功能的集大成， 有助于開發(fā)整體智能物流優(yōu)化調(diào)度系統(tǒng)， 并建立半導(dǎo)體中間智 能物流系統(tǒng)技術(shù)研究和應(yīng)用平臺。

　　指標(biāo)

　　STV 運(yùn)輸機(jī)器人 1 代機(jī)研制驗(yàn)證了整體的設(shè)計(jì)指標(biāo)，完 成了基礎(chǔ)技術(shù)積累。發(fā)現(xiàn)機(jī)械部件穩(wěn)定性問題、車身重量和尺 寸問題、標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化不足以及停止定位精度問題。由此 2 代機(jī)研制定位在 1T 的運(yùn)輸需求上，在 1 代機(jī)的設(shè)計(jì)成果上進(jìn)行了產(chǎn)品化模塊化的優(yōu)化，具體參數(shù)如下表。

　　總結(jié)

　　智能物流系統(tǒng)研究平臺針對半導(dǎo)體中間件制造的挑戰(zhàn)， 強(qiáng)調(diào)克服產(chǎn)品規(guī)模擴(kuò)張和物流設(shè)備有限等問題。它專注于半導(dǎo) 體制造中的分揀轉(zhuǎn)運(yùn)移動機(jī)器人(STV) ，強(qiáng)調(diào)其優(yōu)化的承載 能力和穩(wěn)定性。該平臺強(qiáng)調(diào)了物料搬運(yùn)系統(tǒng)在各個(gè)半導(dǎo)體行業(yè) 中的關(guān)鍵作用，強(qiáng)調(diào)了它們在 IC 制造中的重要性，強(qiáng)調(diào)了物 流自動化的效率， 優(yōu)先考慮高效、經(jīng)濟(jì)、節(jié)能、準(zhǔn)確、穩(wěn)定等 特性。自主研發(fā)的技術(shù)打破了國外技術(shù)壟斷， 促進(jìn)了半導(dǎo)體制 造的創(chuàng)新和競爭力。該平臺旨在構(gòu)建多行業(yè)智慧物流技術(shù)研究 和產(chǎn)品孵化，不斷演化和升級其能力。