摘 要：本文主要描述了臺達電源在光刻機上的良好應(yīng)用。光刻機由于嚴格的使用環(huán)境及對電源性能的特殊要求，使電源的選擇顯得非常慎重。光刻機在使用臺達電源后，完全達到了設(shè)備的設(shè)計要求，也將臺達電源優(yōu)異功能展現(xiàn)得淋漓盡致。 關(guān)鍵字：臺達 導(dǎo)軌式 電源 光刻機 　　引言：在電子行業(yè)高速發(fā)展的今天，工業(yè)設(shè)備的精密度不斷得到提高，與此同時最終用戶對產(chǎn)品本身的性能也提到了新的高度，這就給設(shè)備廠家在元器件選擇方面提出了更高的要求。而在電源的使用上目前工業(yè)設(shè)備在低壓電源方面使用上有平板和導(dǎo)軌兩種安裝方式，而兩種不同的安裝方式也對應(yīng)不同的性能指標。導(dǎo)軌式電源優(yōu)異的性能，與生具來的導(dǎo)軌緊湊式安裝方式，也越來越得到各個設(shè)備廠家的青睞!臺達導(dǎo)軌式電源也應(yīng)運而生，滿足了廣大用戶的要求。 一、光刻機設(shè)備介紹 　　激光標刻機的核心部件是YLM系列單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊，主要為免維護的OEM應(yīng)用面設(shè)計。YLM二極管泵浦光纖激光通過一條帶有金屬護套的單模光纖傳導(dǎo)光束直徑為1.07微米，接近衍射極限（M2<1.05）高質(zhì)量激光束，高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅(qū)動單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊發(fā)出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產(chǎn)生1.06微米波長的激光，激光在傳輸過程中不斷被放大后擴束輸出。擴束后的激光束投射到振鏡掃描器上，通過計算機控制振鏡快速轉(zhuǎn)動及激光的開關(guān)，使激光束在X、Y方向掃描，通過F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬間燒蝕，最后在件表面形成需要的各種圖形符號。 　　1、整機結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，與進口貼片分選設(shè)備充分兼容，接口直接配合、簡單易用。 　　2、基礎(chǔ)配置，采用進口Fiber（光纖）小功率風(fēng)冷激光器，高速振鏡掃描系統(tǒng)，打印準確精致。 　　3、激光打印系統(tǒng)控制核心，Laser Marking System購筑在Windows XP平臺上，控制軟件采用SCAPS軟件，控制卡采用高速USB2.0控制輸入，性能卓越穩(wěn)定，使用操作簡便，并可根據(jù)客戶的需求，隨時升級程序。 　　4、根據(jù)客戶需求，可實現(xiàn)脫機運行操控，一臺電腦主機操作多臺激光打印終端，標刻終端由PDA操控。 　　5、國內(nèi)首創(chuàng)，更小巧，更靈活。 　　6、直接編輯印章和同時打印多種規(guī)格印章，自動記數(shù)功能，隨意設(shè)置標刻數(shù)量及統(tǒng)計所標記管子總數(shù)，設(shè)置數(shù)值高達十億位數(shù)。 [align=center] 光刻機圖片 光刻機雕刻樣品圖片[/align] 二、臺達電源在光刻機上成功應(yīng)用 　　1、電壓要求 　　光刻設(shè)備工作電壓為直流28V，臺達最大輸出直流電壓為28V，完全符合使用要求。 　　2、使用方式要求 　　需要有正負28V電源輸出，第一個電源正端與第二個電源的負端共地使用，而且兩個輸出相互之間不能互擾。 　　3、電源體積要求 　　由于設(shè)備整機結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小的要求，所以要求電源等各種元器件能夠盡量的小巧，不占用更多的空間。臺達電源采用導(dǎo)軌式，呈扁平型，尺寸為：126x32x113，安裝占用空間非常小，得到設(shè)備廠家和最終用戶的一致認可。 　　4、電源穩(wěn)定度要求 　　由于光刻機激光光束需要高可靠性的直流電源，所以在電源的穩(wěn)定性和紋波上要求非常嚴格。臺達電源直流輸出電壓殘余波< 50 mV，波峰切換（20MHz） （在正常值） < 240 mVpp，體現(xiàn)了良好的輸出特性。 　　5、電磁干擾 　　由于激光雕刻機是一個精密的設(shè)備，其電壓的好壞直接影響激光的穩(wěn)定程度，也就直接影響光刻效果，所以其電磁防護等級要求也非常高。不僅自己不能夠被外界電磁干擾，以免輸出電壓精度不高，同時自身也不能夠產(chǎn)生干擾，以免干擾其他設(shè)備的正常工作。臺達電源通過了EMC及防干擾認證，很好的保證了現(xiàn)場使用的要求。 　　綜上所述，雖然光刻機設(shè)備對電源的使用提出了十分高的要求，但是臺達電源以優(yōu)越的性能很好的解決了實際過程中遇到的各種難題，把各種任務(wù)完成得非常的漂亮，由于完美的表現(xiàn)也贏得了客戶的一片贊譽!當(dāng)然，良好的表現(xiàn)源于良好的硬件功夫，臺達電源有此卓越的表現(xiàn)，也是源于臺達電源有很多優(yōu)異的硬件指標參數(shù)和特點，下面列出了臺達的基本參數(shù)及特點。 三、臺達導(dǎo)軌式基本參數(shù)及特點 　　1、基本參數(shù) [size=1][/size] [/td][td=1,1,409][/size][size=1][/size] [/td][/tr][tr][td=1,1,120][/size][size=1][/size] [/td][td=1,1,409][/size][size=1][/size] [/td][/tr][tr][td=1,1,120][/size][size=1][/size] [/td][td=1,1,409][/size][size=1][/size] [/td][/tr][tr][td=1,1,120][/size][size=1][/size] [/td][td=1,1,409][/size][size=1][/size] [/td][/tr][tr][td=1,1,120][/size][size=1][/size] [/td][td=1,1,409][/size][size=1][/size] [/td][/tr][tr][td=1,1,120][/size][size=1][/size] [/td][td=1,1,409][/size][size=1][/size] [/td][/tr][tr][td=1,1,120][/size][size=1][/size] 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