時(shí)間:2011-03-07 09:51:38來源:boulifairy
橫河PLC FA-M3在擴(kuò)散爐上的應(yīng)用。擴(kuò)散爐工作區(qū)間內(nèi)(800到1000mm)一般需要±01℃(個(gè)別要求±0.5℃)。多數(shù)情況下只使用外溫控制,內(nèi)溫只在數(shù)據(jù)測(cè)試(Profiling)和2-3周一次的矯正時(shí)使用。不同晶片及數(shù)量的要求內(nèi)溫相對(duì)外溫設(shè)定值由profiling給出。使用內(nèi)溫時(shí),使用串級(jí)控制,內(nèi)溫輸出作為外溫設(shè)定值使用。為防止電流過大,會(huì)加一些電流限定或限制值斜坡。外溫取2熱電偶之高值。一般800到1200度內(nèi)擴(kuò)散,一次約12-14小時(shí)。
擴(kuò)散爐工作區(qū)間內(nèi)(800到1000mm)一般需要±01℃(個(gè)別要求±0.5℃)。多數(shù)情況下只使用外溫控制,內(nèi)溫只在數(shù)據(jù)測(cè)試(Profiling)和2-3周一次的矯正時(shí)使用。不同晶片及數(shù)量的要求內(nèi)溫相對(duì)外溫設(shè)定值由profiling給出。使用內(nèi)溫時(shí),使用串級(jí)控制,內(nèi)溫輸出作為外溫設(shè)定值使用。為防止電流過大,會(huì)加一些電流限定或限制值斜坡。外溫取2熱電偶之高值。一般800到1200度內(nèi)擴(kuò)散,一次約12-14小時(shí)。
控制難點(diǎn):
1:溫度精度的保持。+0.1度需要相當(dāng)?shù)目刂乒に嚕≒ID參數(shù))積累。
2:程序的自由度。多組目標(biāo)值數(shù)據(jù)要存儲(chǔ)并自由切換。避免干涉。
3:電熱絲斷線預(yù)警;通常使用CT監(jiān)測(cè)電流,配以電壓監(jiān)視。也有使用監(jiān)視同等條件下的輸出變化(比如從60%升高到70%)來判斷老化程度給出預(yù)警。
FA-M3適用模塊:
各電熱絲溫度控制-----F3CU04-1S:
☆提供200ms周期,0.1度的高精度控制,溫度控制曲線條數(shù)不受限制。
☆單系統(tǒng)最多144loop溫控控制,節(jié)省了大量的安裝空間,控制更靈活,方便聯(lián)網(wǎng)擴(kuò)展。
☆各點(diǎn)獨(dú)立,不必加裝隔離柵,減少電熱絲間干擾。
☆由于是模塊式,不再需要PLC與溫度調(diào)節(jié)器間繁瑣的通信編程和布線。
☆使用專用軟件設(shè)定PID/測(cè)試/監(jiān)視。不必使用記錄儀輔助。多路圖彩監(jiān)視為調(diào)試提供了方便。
其他-----斷線檢測(cè)和e-RT3智能CPU
☆檢測(cè)加熱器電流的下限,斷線報(bào)警。
☆補(bǔ)償電源電壓變動(dòng),以防止誤報(bào)警。
☆e-RT實(shí)時(shí)系統(tǒng)CPU完成主控部和溫度控制部處理,代替?zhèn)鹘y(tǒng)PC,系統(tǒng)更穩(wěn)定。
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