1 解決方案核心優(yōu)勢(shì)

　　? 業(yè)界領(lǐng)先的直驅(qū)技術(shù)——直驅(qū)電機(jī)實(shí)現(xiàn)高速、高精度定位;

　　? 直接驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)精密軌跡控制——簡(jiǎn)化設(shè)備結(jié)構(gòu)，并提高設(shè)備性能;

　　? 產(chǎn)品技術(shù)方案穩(wěn)定可靠——擁有全球成熟的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)及本地專業(yè)技術(shù)能力?！　?/p>

　　2 案例一：CMP化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)

　　針對(duì)該研磨設(shè)備所面臨的性能瓶頸，科爾摩根為其提供了驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)和研磨頭的16軸系統(tǒng)方案，方案集成了科爾摩根的明星產(chǎn)品直驅(qū)電機(jī)DDR和高性能標(biāo)準(zhǔn)伺服電機(jī)AKM。電機(jī)優(yōu)化的電磁設(shè)計(jì)有效降低了齒槽效應(yīng)，減少了速度波動(dòng)。同時(shí)，緊湊的電機(jī)尺寸節(jié)省了更多安裝空間。而且，熱替換功能允許在不關(guān)閉網(wǎng)絡(luò)的情況下替換節(jié)點(diǎn)，進(jìn)一步減少了停機(jī)時(shí)間。 最終，方案幫助用戶實(shí)現(xiàn)了用于300mm以及65nm晶圓加工的研磨設(shè)備技術(shù)要求，實(shí)現(xiàn)了多軸數(shù)緊密協(xié)同控制，且運(yùn)動(dòng)控制可按照要求定制軌跡，幫助設(shè)備獲得了高可靠性和安全性，以及確保零停機(jī)時(shí)間。

　　該方案應(yīng)用到的重點(diǎn)直驅(qū)技術(shù)產(chǎn)品包括：

　　(1) GOLDLINE? DDR直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)(圖1所示)

圖 1 GOLDLINE? DDR 直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)

      科爾摩根GOLDLINE?直接驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn) (DDR) 系列電機(jī)提供了一種高性能、零維護(hù)伺服解決方案。 科爾摩根GOLDLINE? DDR通過較長(zhǎng)的直徑、較短的長(zhǎng)度以及大量的磁極可實(shí)現(xiàn)極高的轉(zhuǎn)矩密度。 該DDR可以用作靈活的分度器，所提供的可編程快速分度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過傳統(tǒng)機(jī)械或可變磁阻技術(shù)的分度器的生產(chǎn)能力。 它還可以用于替換機(jī)械傳動(dòng)組件， 例如減速箱、同步皮帶，以及齒條與齒輪減速器。

　　(2) AKM? 系列伺服電機(jī)(圖2所示)

　　科爾摩根提供廣泛的標(biāo)準(zhǔn)配置，具有與定制型解決方案相同的優(yōu)點(diǎn)：

　　? 多種標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品與豐富的聯(lián)合設(shè)計(jì)改造經(jīng)驗(yàn)幫助滿足您的設(shè)計(jì)要求，因此選擇面廣并且靈活性高;

　　? 卓越的性能以及優(yōu)秀的功率密度;

　　? 超低齒槽效應(yīng)與低諧波失真，確保運(yùn)行順暢;

　　? 便于調(diào)試與使用，具有即插即用的電機(jī)識(shí)別功能，并且可在 AKD? 系列伺服驅(qū)動(dòng)器上進(jìn)行全頻自動(dòng)調(diào)諧。

 圖 2 AKM ? 系列伺服電機(jī)　　

　　3 案例 二： 晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

　　面對(duì)客戶現(xiàn)有設(shè)備的諸多實(shí)際應(yīng)用“痛點(diǎn)”，如電機(jī)安裝在真空環(huán)境中的發(fā)熱控制，電機(jī)的真空度適應(yīng)能力提升，中心力矩電機(jī)控制需適應(yīng)機(jī)器人不同位置和負(fù)載重量帶來的負(fù)載慣量動(dòng)態(tài)變化，以及實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)模塊之間的協(xié)同運(yùn)動(dòng)極為平穩(wěn)可靠等要求，科爾摩根技術(shù)專家為其推薦了高性能的KBM無框直驅(qū)電機(jī)匹配AKD伺服驅(qū)動(dòng)器的解決方案。定制化的KBM無框直驅(qū)電機(jī)方案，節(jié)省了設(shè)備約40%的安裝空間。同時(shí)，控制器提供反向運(yùn)動(dòng)學(xué)算法及抑振算法，保障了晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的高速平穩(wěn)運(yùn)行，且實(shí)時(shí)軌跡修改實(shí)現(xiàn)了平穩(wěn)軌跡運(yùn)動(dòng)。另外，雙二階濾波器，電機(jī)斜槽設(shè)計(jì)等手段最大程度減少了轉(zhuǎn)矩紋波，全方位提高了設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力。

　　該方案應(yīng)用到的重點(diǎn)直驅(qū)技術(shù)產(chǎn)品包括：

　　(1)KBM系列無框直驅(qū)電機(jī)(圖3所示)

　圖 3 KBM 系列無框直驅(qū)電機(jī)

KBM? 系列經(jīng)過設(shè)計(jì)，可直接內(nèi)置于機(jī)器中，利用機(jī)器的自身軸承支撐轉(zhuǎn)子。由于我們擁有多種標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)，并且能夠快速和經(jīng)濟(jì)有效地融入聯(lián)合設(shè)計(jì)改造，因此可為您提供一種在最為緊湊的空間內(nèi)具有卓越性能的適用型無框架電機(jī)。

　　(2)AKD 系列伺服驅(qū)動(dòng)器(圖4所示)

圖 4 AKD 系列伺服驅(qū)動(dòng)器

　　科爾摩根 AKD? 系列組成了完善而齊備的基于以太網(wǎng)的伺服驅(qū)動(dòng)器/伺服放大器系列產(chǎn)品，該系列產(chǎn)品運(yùn)行速度快、功能豐富、應(yīng)用靈活，并且能夠快速輕松地集成到任何應(yīng)用中。AKD 采用即插即用式的調(diào)試方法，可確保即時(shí)、無縫地操作您機(jī)器中的任何部件。此外，無論您有何應(yīng)用需求，AKD 總能提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的伺服性能、通信方式和功率級(jí)別，且占用空間極小。

　　4 小結(jié)

　　憑借超過70多年的運(yùn)動(dòng)控制經(jīng)驗(yàn)，全球化的設(shè)計(jì)方案， 靈活的定制能力，以及本土化的快速供貨，科爾摩根在半導(dǎo)體行業(yè)的眾多機(jī)型，例如晶圓激光檢測(cè)機(jī)、光阻涂布機(jī)、晶圓分選機(jī)、覆晶貼片機(jī)、X光檢測(cè)系統(tǒng)、MENS慣性傳感器測(cè)試機(jī)以及SMT 高速貼片機(jī)等設(shè)備類型上都有著成熟的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)?？茽柲Ω彬?qū)技術(shù)是半導(dǎo)體行業(yè)客戶改善設(shè)備性能、提高設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)力的不二選擇。