在當(dāng)今快節(jié)奏的人類社會(huì)中，由于科學(xué)和工程技術(shù)的快速發(fā)展，對不同尺寸的經(jīng)典物理量在不同工業(yè)技術(shù)應(yīng)用中的應(yīng)用要求進(jìn)行了監(jiān)控。壓阻式壓力傳感器由單晶硅的壓阻效應(yīng)組成。以單晶硅芯片為彈性元件，在單晶硅膜上采用集成電路工藝，沿單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等效電阻，將電阻連接成電橋，將單晶硅片放入傳感器腔中。當(dāng)壓力變化時(shí)，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴(kuò)散到其上的應(yīng)變電阻與測量壓力成正比，然后橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。壓力傳感器結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)?

　　一、壓力傳感器結(jié)構(gòu)

　　壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻片集成到單晶硅薄膜上，制成硅壓阻芯片，并將芯片固定在外殼中引出電極線。壓阻式壓力傳感器又稱固體壓力傳感器，與粘貼式應(yīng)變計(jì)不同。它需要通過彈性傳感元件間接感受外力，但通過硅膜直接感受被測壓力。

　　測量中的所謂“壓力”是物理學(xué)中的“壓力”，它是反映物質(zhì)狀態(tài)的一個(gè)重要參數(shù)。在壓力測量中，有表面壓力、絕對壓力(絕對壓力)、負(fù)壓和真空度。工業(yè)上使用的壓力指示值大多是表面壓力，即絕對壓力和大氣壓力之間的差值。因此，絕對壓力是表面壓力和大氣壓力的總和。如果測量壓力低于大氣壓力，則稱為負(fù)壓或真空度。

　　在工作原理上，壓力測量傳感器分為壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器，壓磁式壓力傳感器和電容式壓力傳感器以及霍爾壓力表等。

　　壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)，在半導(dǎo)體材料襯底上擴(kuò)散電阻而制成的器件。基板可以直接用作測量傳感器元件，擴(kuò)散電阻連接到基板中的電橋中。

　　當(dāng)基板因外力而變形時(shí)，電阻值會(huì)發(fā)生變化，電橋也會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。用作壓阻傳感器的襯底(或薄膜)主要是硅芯片和鍺芯片。以硅芯片為敏感材料的硅壓阻傳感器越來越受到人們的關(guān)注，特別是用于測量壓力和速度的固態(tài)壓阻傳感器。

　　二、壓力傳感器特點(diǎn)

　　1.高頻響應(yīng)，f0高達(dá)1.5M;

　　2.體積小、功耗低;

　　3.靈敏度高，準(zhǔn)確度好，可測量0.1%的準(zhǔn)確度;

　　4.無活動(dòng)部件(敏感部件與轉(zhuǎn)換部件集成)。

　　壓力傳感器結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)?對于傳感器企業(yè)來說，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存，更多的中國傳感器企業(yè)正朝著正確的方向前進(jìn)。隨著工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)和智能制造的進(jìn)步，我相信會(huì)出現(xiàn)更多優(yōu)秀的國產(chǎn)傳感器企業(yè)和產(chǎn)品。