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堡盟XF工業(yè)相機,晶圓質(zhì)量的守門員

時間:2022-10-26 11:29:57來源:堡盟電子(上海)有限公司

導(dǎo)語:?一顆小小的芯片就能匯聚地球人類最尖端的智慧,芯片已經(jīng)成為科技行業(yè)炙手可熱的產(chǎn)品,芯片的制造需要通過大晶圓的切割再制成一各個小片,再進行封裝。

  一顆小小的芯片就能匯聚地球人類最尖端的智慧,芯片已經(jīng)成為科技行業(yè)炙手可熱的產(chǎn)品,芯片的制造需要通過大晶圓的切割再制成一各個小片,再進行封裝。

  晶圓的制作過程中有一步非常關(guān)鍵的步驟——CMP機械化學(xué)拋光,它能夠有效提高晶圓的表面光潔度從而提升導(dǎo)電率,而堡盟XF100M03W10EP工業(yè)相機就工作在這步關(guān)鍵CMP工藝中。

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  監(jiān)測芯片拋光,守護晶圓質(zhì)量

  芯片產(chǎn)品的制作離不開晶圓材料的支持,晶圓則需要CMP機械化學(xué)拋光來提高其表面的電導(dǎo)率,通過CMP可以得到像鏡子一樣光閃閃的晶圓表面。但是由于晶圓在拋光時表面最初沒有那么平整,因此摩擦過程中會產(chǎn)生殘存硅片滯留在拋光布上,如果沒有能及時檢測并清理這些碎片,會對晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量造成損害,影響到最終產(chǎn)品良率。

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  堡盟XF100M03W10EP在這個晶圓拋光的監(jiān)測項目中充當(dāng)了守門員的角色,展現(xiàn)出了強大的設(shè)備優(yōu)勢:

  l 采用集成式相機不僅安裝簡便,而且成像清晰檢測穩(wěn)定,最小可檢測1.5*1.5mm碎片;

  l 擁有缺陷存儲報警功能,可以追溯碎片發(fā)生瞬時情況,有利于追溯碎片原因;

  l XF相機可以采用頂部懸掛的方式,貼邊安裝,進一步節(jié)約解決方案的節(jié)空間;

  l 由于采用一體式智能相機硬件檢測,接線方便,后續(xù)維護方便。

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  實際工作過程也相當(dāng)順暢,當(dāng)拋光布工作高速旋轉(zhuǎn)時,其設(shè)計速度達到了80r/min,堡盟XF相機在監(jiān)測中的第一次拍攝上只選擇了一小部分區(qū)域,多次拍攝可以完成整張布的監(jiān)測,拋光布有白色與黑色兩種顏色,在實際拍照檢測中不會受到顏色的影響,并且結(jié)果輸出很快,拋光布表面的水膜也不會影響檢測過程與結(jié)果。

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  繼承家族優(yōu)良設(shè)計,技術(shù)賣點全面

  堡盟XF100M03W10EP,是堡盟VeriSens工業(yè)相機家族中的產(chǎn)品,繼承了一貫的優(yōu)良設(shè)計,擁有出色的性能,小巧的外觀和較好的耐用性,XF字頭代表“擴展功能”寓意,該系列產(chǎn)品功能強大,一旦部署就相當(dāng)于立刻擁有了圖像處理所需要的一切。

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  l XF 系列擁有很高的靈活性,專門應(yīng)對不同顏色的圖像分析,包括黑白或彩色圖像,其包含所有 VeriSens? 的特征監(jiān)測功能有22 項之多,并且始終提供適用的圖像工具。只需一個傳感器就足以同時完成多項檢查,比如物體特征與位置檢查以及文本(OCR /OCV)和一維/二維碼讀取等等。

  l 它集成了光學(xué)元件:8 | 10 | 12 | 16mm,還集成了 LED 光源(白光或紅外線)。其自身集成的日光濾光片的紅外光源具有多項應(yīng)用優(yōu)勢,能夠盡可能地抑制環(huán)境光的影響,從而突顯物體的特征。

  l 外殼采用鋁IP67或不銹鋼 IP69K的高防護等級的材質(zhì)。

  l XF 系列的所有產(chǎn)品均集成 FEXLoc? 360° 目標(biāo)定位功能,確??煽康哪繕?biāo)識別。

  l 此外,VeriSens? 光源頻閃不會干擾附近的工作人員。

  芯片行業(yè)火爆,行業(yè)前景不容置疑

  芯片行業(yè)目前是全世界關(guān)注的行業(yè),行業(yè)呈現(xiàn)高速發(fā)展態(tài)勢,無論是國際還是國內(nèi),都在積極的布局新一代芯片制造生產(chǎn)線。大量的新能源汽車,新家電,電腦,游戲機,相機,手機,都離不開芯片的支持,可以說沒有芯片就沒有我們現(xiàn)在的信息生活。堡盟的XF100M03W10EP憑借出色的產(chǎn)品設(shè)計和可靠的項目表現(xiàn),相信在未來也會在芯片與晶圓制造產(chǎn)業(yè)中也將擁有更多屬于自己大展拳腳的機會。

標(biāo)簽: 堡盟電子芯片

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