行業(yè)背景

　　伴隨著產(chǎn)業(yè)的不斷升級，在航空航天、生物工程制藥、醫(yī)療、精密機(jī)械制造等高科技領(lǐng)域，對于高端設(shè)備的要求也越來越高。比如在測試、檢測、加工等應(yīng)用中，對于設(shè)備的速度穩(wěn)定性、幾何精度等有著相當(dāng)高的要求，但傳統(tǒng)的機(jī)械導(dǎo)軌直線電機(jī)平臺大多數(shù)只能滿足微米級精度。而氣浮導(dǎo)軌直線電機(jī)平臺能實現(xiàn)納米級精度，是更好的解決方案。

行業(yè)需求

　　高精度的測試、檢測和加工等應(yīng)用往往要求一個運動平臺具有如下特點：

　　·更高要求的軌跡控制和低速波動

　　·亞微米級、甚至納米級定位精度和幾何精度

　　·盡可能少的外力影響，如摩擦力、線纜阻力等

　　·集成高柔屏蔽線纜

　　·直驅(qū)

　　·使用壽命長

　　·可靠性更高

解決方案

　　雅科貝思針對此類需求研發(fā)了直線電機(jī)氣浮平臺——AAL270系列。該系列集成了氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)、高精度光學(xué)編碼器、高柔屏蔽線纜等零部件，再額外搭配上高性能驅(qū)控模塊，完全能夠達(dá)到上述應(yīng)用的要求。

AAL270系列

　　·自產(chǎn)高剛性氣浮導(dǎo)軌(專利技術(shù))

　　·300mm行程 雙向重復(fù)定位精度<0.15(±0.075)μm

　　·300mm行程平面度<±0.75μm

　　·適用于晶圓檢測、單點鉆石車削、激光微加工等

　　01、氣浮導(dǎo)軌

　　氣浮導(dǎo)軌顧名思義是利用壓縮空氣在動子和定子間形成的氣膜支撐負(fù)載質(zhì)量。不同于傳統(tǒng)機(jī)械導(dǎo)軌，氣浮導(dǎo)軌是完全非接觸、零摩擦、零損耗、無需潤滑的。特別適用于無塵車間等對潔凈度有嚴(yán)格要求的場合。只要供給氣浮導(dǎo)軌以潔凈且干燥的的壓縮空氣，原則上它的使用壽命是無窮盡的。

　　02、氣浮墊

　　氣浮模組大多會使用到氣浮墊(一種包含氣浮面和氣流約束機(jī)構(gòu)的零件)作為氣浮導(dǎo)軌的一部分，它主要分三類：小孔結(jié)構(gòu)、小孔和導(dǎo)流槽結(jié)構(gòu)、多孔介質(zhì)結(jié)構(gòu)。

小孔結(jié)構(gòu)(左)小孔和導(dǎo)流槽(中)多孔介質(zhì)(右)

　　雅科貝思AAL270系列采用小孔氣浮墊，每片氣浮墊可提供近100N/μm的剛度。高剛度就意味著大負(fù)載、高控制帶寬、出色的響應(yīng)和跟隨性能。并且，氣浮墊有著天生的均化特性。配合精密加工的氣浮底座，AAL270系列還可以提供出色的幾何精度，是高性能和高性價比的完美組合。

性能指標(biāo)實測結(jié)果

雙向重復(fù)定位精度 <0.084 (± 0.042) μm

偏航精度 = 1.14 arcsec

俯仰精度 = 1.75 arcsec

平面度 = 0.042 um

直線度 = 0.057 um

　　03、AUM系列無鐵芯直線電機(jī)

　　AAL270系列搭配著雅科貝思的核心科技：AUM系列(自主專利)。該系列為無鐵芯直線電機(jī)，擁有無齒槽力、零磁吸力和極低的動子質(zhì)量等優(yōu)勢?？梢约骖櫢咚俣?、高加速度和出色的速度波動率。配合高性能光學(xué)編碼器和運動控制模塊，AAL270可以實現(xiàn)納米級別的靜態(tài)抖動。

AUM系列

　　04、高柔線纜

　　在設(shè)計中，雅科貝思特別優(yōu)化了線纜的彎曲半徑和集成方式。即便是在最壞的情況下，模塊化的線纜設(shè)計使得快速替換成為可能，進(jìn)而減小了設(shè)備可能的停機(jī)時間。在高柔性無屏蔽線纜的基礎(chǔ)上，針對追求穩(wěn)定性能應(yīng)用的客戶，提供了帶屏蔽層的線纜選項。

AAL270系列亮點

小孔氣浮墊

無摩擦

免維護(hù)

高剛性

高負(fù)載，最大負(fù)載40kg

高加速，最大加速度2G

低速度波動

專業(yè)解決方案

　　AAL270系列的優(yōu)勢不僅是因其擁有更高的精度，能夠滿足各行業(yè)中一些高精密設(shè)備的需求。同時，氣浮的結(jié)構(gòu)設(shè)計沒有物理接觸，規(guī)避了一般機(jī)械導(dǎo)軌運動過程中因摩擦而產(chǎn)生顆粒物的問題，從而達(dá)到更高的潔凈等級，為更多潔凈室等級應(yīng)用提供適合的解決方案。

AAL270-XY氣浮臺

　　雅科貝思能根據(jù)不同行業(yè)不同需求，研發(fā)多款定制平臺，專業(yè)的有針對性的全套解決方案助力產(chǎn)業(yè)升級。

　　如有需求，請致電雅科貝思。