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　　挑戰(zhàn)

　　當(dāng)使用機(jī)械式觸發(fā)測(cè)頭測(cè)量復(fù)雜工件時(shí)，為了有效減少測(cè)量誤差，需要花費(fèi)大量時(shí)間在使用測(cè)頭的各個(gè)方向上進(jìn)行標(biāo)定。如何在保證測(cè)量精度的前提下，提高測(cè)量效率，成了很多制造商迫切需要解決的難題。

　　解決方案

　　雷尼紹OMP400超小型應(yīng)變片式觸發(fā)測(cè)頭，搭載新型感應(yīng)技術(shù)-——硅應(yīng)變片技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)極低的預(yù)行程及超高重復(fù)性，僅需一次簡(jiǎn)單的測(cè)頭標(biāo)定程序，即可在任意方向進(jìn)行測(cè)量，也因此成為了模具和其它復(fù)雜工件唯一可行的測(cè)量解決方案。

　　什么是應(yīng)變片技術(shù)

　　應(yīng)變片技術(shù)是雷尼紹開發(fā)的一種新型感應(yīng)技術(shù)，解決了機(jī)械式電阻觸發(fā)測(cè)頭傳感機(jī)構(gòu)的3D測(cè)量局限性。它將專用集成電路 (ASIC) 微電子技術(shù)與固態(tài)感應(yīng)技術(shù)相融合，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的3D測(cè)量性能。

　　盡管應(yīng)變片式觸發(fā)測(cè)頭仍然使用相同的機(jī)械結(jié)構(gòu)來固定測(cè)針，但它不通過接觸元件的電阻變化來感應(yīng)測(cè)針是否觸發(fā)。取而代之的是，一組應(yīng)變片被置于測(cè)頭機(jī)械傳感機(jī)構(gòu)平臺(tái)內(nèi)精心設(shè)計(jì)的碶型臺(tái)上，并且獨(dú)立于機(jī)械裝置。這些應(yīng)變片測(cè)量施加在測(cè)針上的測(cè)力，當(dāng)壓力在任何方向上超過閾值時(shí)便產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)。此類測(cè)頭因此具有低測(cè)力、低預(yù)行程和低預(yù)行程變化(PTV)的特點(diǎn)。

　　機(jī)械式觸發(fā)測(cè)頭VS應(yīng)變片式觸發(fā)測(cè)頭

　　機(jī)械式觸發(fā)測(cè)頭

　　機(jī)械式觸發(fā)測(cè)頭采用滾子和球的彈簧承載機(jī)械安裝方式來定位測(cè)針架，具有優(yōu)異的重復(fù)性。電路中有電阻。測(cè)針承受的外力增大，電阻也隨之增大，直至達(dá)到觸發(fā)值并產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)。

　　性能：

　　?1 μm 2σ重復(fù)性，源于基本的機(jī)械式電阻電氣開關(guān)

　　?多種尺寸和無線傳輸選項(xiàng)

　　?符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，堅(jiān)固耐用、功能強(qiáng)大

　　應(yīng)變片式觸發(fā)測(cè)頭

　　應(yīng)變片式測(cè)頭保留了機(jī)械式電阻測(cè)頭的機(jī)械安裝方式，但使用一系列應(yīng)變片測(cè)量測(cè)針上的測(cè)力，并產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)。

　　性能：

　　?優(yōu)異的0.25 μm 2σ重復(fù)性

　　?亞微米級(jí)2D和3D預(yù)行程變化

　　?固態(tài)感應(yīng)功能增強(qiáng)了測(cè)頭的耐用性，并延長(zhǎng)了使用壽命

　　?主動(dòng)誤觸發(fā)過濾

　　?快速進(jìn)行多軸重新定向

　　OMP400超小型

　　應(yīng)變片式測(cè)頭

　　OMP400是雷尼紹最新款采用光學(xué)方式傳輸信號(hào)的機(jī)床觸發(fā)式測(cè)頭。其采用了MP700首次采用的高精度應(yīng)變片技術(shù)的改進(jìn)版本，并且其尺寸與屢獲殊榮的OMP40機(jī)械式觸發(fā)測(cè)頭一樣小巧。小型機(jī)床用戶因此首次享受到應(yīng)變片技術(shù)帶來的精度優(yōu)勢(shì)。

　　優(yōu)勢(shì)

　　標(biāo)定程序簡(jiǎn)單，重復(fù)性高

　　OMP400觸發(fā)式測(cè)頭的預(yù)行程極低，測(cè)頭電子元件采用最新的改進(jìn)型算法，因此其PTV比行業(yè)領(lǐng)先的MP700觸發(fā)式測(cè)頭還要低。其優(yōu)點(diǎn)在于只需要一次簡(jiǎn)單的測(cè)頭標(biāo)定程序，就可在任意方向使用該產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)量。再加上應(yīng)變片式觸發(fā)測(cè)頭的超高重復(fù)性，OMP400是模具和其他復(fù)雜工件唯一可行的測(cè)量解決方案。

　　使用壽命長(zhǎng)，適應(yīng)惡劣工作環(huán)境

　　應(yīng)變片技術(shù)還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，即該類測(cè)頭的使用壽命是傳統(tǒng)電阻測(cè)頭的十倍。此外，測(cè)頭內(nèi)的應(yīng)變片結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改良，產(chǎn)品的可靠性隨之提高，確保它可以很好地適應(yīng)機(jī)床內(nèi)惡劣的工作環(huán)境。

　　支持更長(zhǎng)的測(cè)針應(yīng)用，測(cè)量性能出色穩(wěn)定

　　機(jī)械式電阻觸發(fā)測(cè)頭的PTV隨測(cè)針長(zhǎng)度而增加，這意味著對(duì)測(cè)量性能的要求會(huì)限制所用測(cè)針的長(zhǎng)度。OMP400觸發(fā)式測(cè)頭具有更低、更一致的測(cè)力，測(cè)量性能更加出色，支持更長(zhǎng)的測(cè)針應(yīng)用。OMP400可支持使用長(zhǎng)達(dá)200 mm的測(cè)針，測(cè)量性能僅略微下降。

　　下圖顯示了在分辨率為10 nm的雷尼紹測(cè)頭測(cè)試裝置上進(jìn)行的測(cè)量測(cè)試，其中以30°為增量圍繞一圈采集12個(gè)點(diǎn)。圖中顯示了OMP400觸發(fā)式測(cè)頭的典型PTV圖，所有方向的預(yù)行程都很低，而且?guī)缀跻恢�。使�?0 mm測(cè)針時(shí)，XY平面中的PTV值僅為0.34 μm，比類似尺寸的機(jī)械式觸發(fā)測(cè)頭的PTV值低大約90%。OMP400觸發(fā)式測(cè)頭的XYZ 3D方向上的PTV值通常小于1微米。

　　OMP400超小型應(yīng)變片式測(cè)頭參數(shù)指南