摘 要：為了實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)測(cè)量，給液壓系統(tǒng)的設(shè)計(jì)以及故障診斷提供理論依據(jù)，在已經(jīng)設(shè)計(jì)的新型 MEMS 流量傳感器的基礎(chǔ)上，對(duì)其結(jié)構(gòu)尺寸進(jìn)行了進(jìn)一步的優(yōu)化，并對(duì)MEMS芯體和優(yōu)化后的 MEMS傳感器進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定。對(duì) MEMS傳感器進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性試驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)新型 MEMS傳感器具有低擾動(dòng)、高頻率響應(yīng)等特點(diǎn)，適合液壓系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)測(cè)量。 關(guān)鍵詞：MEMS傳感器；尺寸優(yōu)化；靜態(tài)標(biāo)定；動(dòng)態(tài)試驗(yàn) 前言 現(xiàn)代液壓技術(shù)研究熱點(diǎn)由靜態(tài)特性向動(dòng)態(tài)特性轉(zhuǎn)變。以往的經(jīng)驗(yàn)證明，靜態(tài)特性很完善的系統(tǒng)，運(yùn)行后時(shí)常會(huì)發(fā)生振動(dòng)、噪音等問題，這主要是由于系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性研究不到造成的。出于種種目的，國(guó)內(nèi)外對(duì)管道動(dòng)特性進(jìn)行了許多研究。非定常流動(dòng)的油液，由于其外部表現(xiàn)和內(nèi)在機(jī)理的復(fù)雜性，直到現(xiàn)在仍有不少問題未能徹底解決。目前，許多液壓系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和分析只能按照定常流動(dòng)進(jìn)行，但實(shí)際上，系統(tǒng)中出現(xiàn)非定常流動(dòng)的幾率并不亞于定常流動(dòng)。所以研究并提高傳感器的動(dòng)態(tài)性能對(duì)實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)動(dòng)態(tài)測(cè)量具有重要意義。 MEMS傳感器的優(yōu)化與動(dòng)態(tài)試驗(yàn)全文下載